[实用新型]管路去气泡装置有效

专利信息
申请号: 201822241564.0 申请日: 2018-12-29
公开(公告)号: CN209216934U 公开(公告)日: 2019-08-06
发明(设计)人: 黄景山;张弢;蒋德念 申请(专利权)人: 上海华力集成电路制造有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 戴广志
地址: 201315 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 去泡器 去气泡装置 真空泵 去除 缓存 机台 电气执行机构 半导体加工 本实用新型 阀门管路 管路液体 控制流体 流量变动 流体 夹杂 晶圆 停线 废品 电路 报警 携带 占据
【权利要求书】:

1.一种管路去气泡装置,其特征在于,包含:

一管路,该管路用以输送一液体,该液体中带有一气体;

一去泡器,该去泡器为一容器;

一真空泵,该真空泵与该去泡器连接;

该去泡器连接在该管路中。

2.如权利要求1所述的管路去气泡装置,其特征在于,该液体包含过氧化氢。

3.如权利要求1或2所述的管路去气泡装置,其特征在于,还包含一鼓泡器,该鼓泡器鼓动混合该液体。

4.如权利要求3所述的管路去气泡装置,其特征在于,该鼓泡器连接一氮气,该氮气鼓动混合该液体。

5.如权利要求1或2所述的管路去气泡装置,其特征在于,还包含一气动隔膜泵,该气动隔膜泵与该管路相连,用以将该液体输送到喷洒位置。

6.如权利要求1或2所述的管路去气泡装置,其特征在于,还包含一阀门一,该阀门一连接在该去泡器和该真空泵之间。

7.如权利要求5所述的管路去气泡装置,其特征在于,该气动隔膜泵包含一开关控制电路一。

8.如权利要求6所述的管路去气泡装置,其特征在于,该阀门一包含一开关控制电路二。

9.如权利要求8所述的管路去气泡装置,其特征在于,还包含一气动隔膜泵,该气动隔膜泵包含一开关控制电路一,该开关控制电路一和该开关控制电路二之间电路连接。

10.如权利要求9所述的管路去气泡装置,其特征在于,还包含一选择开关,该真空泵包含一电机一和一开关控制电路三,该气动隔膜泵包含一电机二,该阀门一包含一电磁铁一,该开关控制电路一包含一线圈一和一常开触点一,该开关控制电路二包含一线圈二和一常开触点二,该开关控制电路三包含一线圈三和一常开触点三,该选择开关、该线圈一、该线圈二和该线圈三串联连接至控制电源两端,该常开触点一连接该电机二,该常开触点二连接该电磁铁一,该常开触点三连接该电机一。

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