[实用新型]校准工装和校准系统

说明书

本实用新型涉及一种校准工装，用于校准磁场扫描设备与靶材安装座的相对位置。校准工装包括工装主体。工装主体包括第一校准平面、第一校准平面以及第三校准平面。第一校准平面、第一校准平面以及第三校准平面两两相互垂直且相交。第一校准平面、第一校准平面以及第三校准平面分别作为校准的参考面。在校准时，可以通过比较磁场扫描设备与第一校准平面、第一校准平面或第三校准平面上不同区域的相对位置是否一致，来判断磁场扫描设备与靶材安装座的相对位置是否符合要求。同时，在校准过程中，可以明确得到磁场扫描设备安装上不符合要求的具体部位及原因，便于用户做针对性调整，从而避免了盲目调整验证，节省了工作流程，提高了工作效率。

技术领域

本实用新型涉及磁场扫描仪器领域，特别是涉及一种校准工装和校准系统。

背景技术

目前薄膜太阳能电池芯片采用磁控溅射镀膜方法制备，而磁控溅射用靶材为核心材料。通常靶材安装到磁控溅射设备之前需要利用高斯计探针检测靶材内的磁场分布是否合格，检测时，靶材一般被安装在靶材安装座上，高斯计探针一般被安装在磁场扫描设备上。在对靶材测量前，需要保证靶材与磁场扫描设备的相对安装位置满足要求。

目前，通过验证工具验证靶材与磁场扫描设备的相对安装位置是否满足要求，若验证工具与磁场扫描设备的相对位置为我们需要的靶材与磁场扫描设备的相对安装位置时，用高斯计探针扫描验证工具时，会输出一组标准数据，磁场扫描设备的控制器会预先存储这一标准数据；在通过验证工具验证靶材与磁场扫描设备的相对安装位置是否满足要求时，先将验证工具安装在安装座上，用高斯计探针扫描验证工具的磁场分布情况，将扫描得到的数据与标准数据进行对比，看是否有差异，若存在差异，再根据经验对磁场扫描设备的位置进行试探调节，调节后，再用高斯计探针对验证工具进行再次扫描，重复上述操作，直至高斯计探针的扫描结果与磁场扫描设备的控制器内预先存储的标准数据相近，目前对磁场扫描设备位置的调节依赖于操作人员的经验和目测，没有可依据的具体调节参数，需要反复试探调节，调节过程较长，工作效率较低。

实用新型内容

基于此，有必要针对验证靶材与磁场扫描设备的相对安装位置是否满足要求时，过程复杂且时间成本高的问题，提供一种校准工装和校准系统。

本实用新型提供了一种校准工装，用于校准磁场扫描设备与靶材安装座的相对位置，包括：

工装主体，所述工装主体包括第一校准平面、第二校准平面以及第三校准平面，所述第一校准平面、所述第二校准平面以及所述第三校准平面两两相互垂直且相交。

在其中一个实施例中，所述工装主体还包括减重孔，所述减重孔设置于所述第一校准平面和/或所述第二校准平面上。

在其中一个实施例中，所述第一校准平面和所述第三校准平面连接处具有第一台阶结构，所述第一台阶结构包括分别与所述第一校准平面和与所述第三校准平面平行的第一台阶面和第二台阶面。

在其中一个实施例中，所述第一校准平面和所述第二校准平面连接处具有第二台阶结构，所述第二台阶结构包括分别与所述第一校准平面和所述第二校准平面平行的第三台阶面和第四台阶面。

在其中一个实施例中，所述校准工装还包括磁性件，所述磁性件可拆卸地设置于所述第一校准平面上。

在其中一个实施例中，所述校准工装还包括屏蔽件，所述屏蔽件可拆卸地设置于所述第一校准平面上，所述屏蔽件上设有容纳结构，所述磁性件设置于所述容纳结构内。

在其中一个实施例中，所述校准工装还包括一验证件，所述验证件可拆卸地设置于所述第一校准平面上，所述验证件内部均匀设置有多个标准磁体，所述验证件用于验证磁场扫描设备与靶材安装座的相对位置。

在其中一个实施例中，上述任一项所述的校准工装还包括水平度检测装置，所述水平检测装置用于以所述第一校准平面、所述第二校准平面和所述第三校准平面为参考面对待校准装置进行检测。