[实用新型]除尘滚刷及芯片清洗系统

权利要求书

1.一种除尘滚刷，包括旋转滚轴和套设于所述旋转滚轴上的刷体，其特征在于,还包括:

抽气通道，设置于所述旋转滚轴的轴心方向，其与抽气设备连接；

吸收孔，设置于所述刷体上，且与所述抽气通道相连通，以供除尘时的粉尘颗粒通过。

2.如权利要求1所述的除尘滚刷，其特征在于，所述刷体外缘面设置有一绒毛层。

3.如权利要求2所述的除尘滚刷，其特征在于，所述绒毛层的材质选自尼龙、聚乙烯、聚丙烯或聚对苯二甲酸丁二醇酯中的一种。

4.如权利要求1所述的除尘滚刷，其特征在于，所述吸收孔的直径介于10μm至500μm之间。

5.如权利要求4所述的除尘滚刷，其特征在于，所述吸收孔均匀分布于所述刷体的外缘面。

6.一种芯片清洗系统，其特征在于，包括清洗槽、传送装置；

所述传送装置包括依次水平设置的第一传输机构、第二传输机构，所述第一传输机构用于承载并传输芯片；

所述第一传输机构上设置有除尘滚刷，所述除尘滚刷用于对承载在所述第一传输机构上的芯片进行除尘操作；

所述第二传输机构设置于所述清洗槽内，用于承接并沿竖直方向往复输送经所述第一传输机构除尘后的所述芯片；

其中，所述除尘滚刷包括权利要求1-5任一所述的除尘滚刷。

7.根据权利要求6所述的芯片清洗系统，其特征在于，

所述芯片清洗系统还包括超声发生装置，所述超声发生装置设置于所述清洗槽内，用于清洗芯片。

8.如权利要求7所述的芯片清洗系统，其特征在于，

所述第二传输机构包括两两成对设置的多个第二子传输机构组，所述芯片在相邻所述第二子传输机构组之间传输，所述第二子传输机构组包括两个成对设置的第二子传输机构；

每个所述第二子传输机构包括滚轴组和传输带；

其中，所述滚轴组为两个滚轴成对设置形成；

所述传输带上设置有多个卡座，构成所述第二子传输机构组的两个第二子传输机构之间的卡座相对且构成支撑面，用于在竖直方向上传输所述芯片。

9.如权利要求8所述的芯片清洗系统，其特征在于，多个所述第二子传输机构组沿水平方向依次设置；

所述传送装置还包括第三传输机构，所述第三传输机构设置于第二子传输机构内侧，所述第三传输机构的两端分别延伸至两个所述第二子传输机构组靠近所述清洗槽底部位置的所述支撑面处，用于承接并在水平向上传输所述芯片。

10.如权利要求9所述的芯片清洗系统，其特征在于，所述清洗系统还包括芯片感应单元，所述芯片感应单元包括传感器和处理器；

所述传感器设置于所述第一传输机构、第二传输机构及第三传输机构的上料位置和/或下料位置，用于感应所述芯片的位置。

11.如权利要求7所述的芯片清洗系统，其特征在于，所述清洗槽的出水端设置有过滤器。