[实用新型]一种加热装置

说明书

本实用新型提供一种加热装置，用于将放置晶片的载具加热至设定温度，包括腔体结构和加热部件，加热部件设置在腔体结构内部，载具也用于设置在腔体结构内部，加热部件用于围设在载具外围，以对载具进行加热；腔体结构包括腔体和顶盖，腔体一端开口，顶盖用于盖合在腔体的开口上。该加热装置，通过设置腔体结构和加热部件，能够将放置晶片的载具加热至设定温度，相对于现有的通过预热水槽加热载具的方案，该加热装置能将载具加热至任意的设定温度，从而解决了水槽加热载具存在的加热温度受限的问题，同时，通过该加热装置加热后的载具的温度能够弥补载具转移过程中发生的热量损失，从而能保证载具移动到目标位置时的温度仍然可以满足工艺要求。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，具体地，涉及一种加热装置。

背景技术

在太阳能电池的制备工艺中，典型湿法刻蚀工艺中的晶片预热大多在可加热升温的纯水槽内进行。预热前，首先将形成有聚合物薄膜的晶片(例如砷化镓晶片)放到特制的载具内，然后通过机械手将载具运送到预热水槽内并将其预热到目标温度。

载具在预热后的转移过程中，会不可避免地发生热量流失从而导致载具内的晶片温度降低，转移过程越长，流失的热量越多，为保证载具在移动到目标位置时的温度仍然可以满足工艺要求，这就对预热温度提出了更高的要求，但受纯水的特性所限，预热温度难以达到100摄氏度以上。

因此，晶片载具预热装置的预热温度受限已经成为目前亟待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术中存在的上述技术问题，提供一种加热装置，该加热装置能够将放置晶片的载具加热至设定温度，相对于现有的通过预热水槽加热载具的方案，该加热装置能将载具加热至任意的设定温度，从而解决了水槽加热载具存在的加热温度受限的问题，同时，通过该加热装置加热后的载具的温度能够弥补载具转移过程中发生的热量损失，从而能保证载具移动到目标位置时的温度仍然可以满足工艺要求。

本实用新型提供一种加热装置，用于将放置晶片的载具加热至设定温度，包括腔体结构和加热部件，所述加热部件设置在所述腔体结构内部，所述载具也用于设置在所述腔体结构内部，所述加热部件用于围设在所述载具外围，以对所述载具进行加热；所述腔体结构包括腔体和顶盖，所述腔体一端开口，所述顶盖用于盖合在所述腔体的开口上，以封闭所述腔体的开口。

优选地，所述腔体包括由外层壁和内层壁围设形成的中空封闭的第一壳体，所述腔体还包括填充于所述第一壳体内的保温材料。

优选地，所述腔体包括底壁和四周侧壁，所述腔体的一侧侧壁上开设有进气管道，所述腔体的与所述进气管道所在侧壁相邻的相对两侧壁上开设有出气管道，所述进气管道用于向所述腔体内输入空气，所述出气管道用于从所述腔体内向外输出空气。

优选地，所述腔体结构还包括设置在所述腔体内底壁上的承载部，所述承载部包括支撑柱和托盘，所述支撑柱的一端与所述腔体的底壁固定连接，所述托盘固定在所述支撑柱的另一端上，所述托盘上用于放置所述载具。

优选地，所述加热部件包括设置于所述腔体内的第一加热线圈，所述第一加热线圈用于围设于所述载具的四周外围，所述第一加热线圈固定在所述托盘上，且所述第一加热线圈与所述腔体之间相互间隔设定距离。

优选地，所述腔体结构还包括第一保护屏障，所述第一保护屏障设置在所述腔体内，且用于围设在所述载具的四周外围，所述第一保护屏障固定在所述托盘上，且所述第一保护屏障用于设置在所述第一加热线圈和所述载具之间，以将所述第一加热线圈与所述载具隔开。

优选地，所述第一保护屏障上开设有均匀分布的散热孔，所述散热孔能使所述第一加热线圈的热量通过，以对所述载具进行加热。