[实用新型]一种新型乙硼烷尾气吸附装置

说明书

本实用新型涉及一种新型乙硼烷尾气吸附装置，其特征在于：包括驱替泵、活塞容器组、氮气瓶、二硫化碳存储罐、吸收釜模块和回收模块；本实用新型中，在进行乙硼烷进行尾气吸附的时候，先将吸附釜内通入氮气将吸附釜内可能存在的潮湿空气进行排除，然后将二硫化碳在驱替泵和活塞容器的配合下将二硫化碳泵入到吸附釜内，通过多级的吸附能够吸附大量的乙硼烷，最后的回收模块也能保证残留的乙硼烷不于空气接触；本实用新型的装置能够在吸附的过程中完全隔开空气，降低乙硼烷吸附过程中的风险。

技术领域

本实用新型涉及乙硼烷尾气处理领域，尤其涉及一种新型乙硼烷尾气吸附装置。

背景技术

乙硼烷是化学式为B2H6的无机化合物，是目前能分离出的最简单的硼烷。乙硼烷室温下为无色气体，可以与空气形成爆炸性混合物，并且在潮湿空气中自燃。有剧毒。乙硼烷具有较高的化学活性，容易与各种无机分子和有机分子起反应。这不仅是因为乙硼烷生成热为正值(即所谓吸热化合物)，还由于硼对氟、氧、氮、磷等电负性强的元素有很大的亲合力。

一般的在工业上的乙硼烷在吸收的过程中根据乙硼烷易溶于二硫化碳的化学属性，采用二硫化碳进行吸收；但是存在与潮湿的空气接触的风险。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种新型乙硼烷尾气吸附装置，能够解决一般的乙硼烷子在吸收的过程中存在与潮湿空气接触的风险。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案为：一种新型乙硼烷尾气吸附装置，其创新点在于：包括驱替泵、活塞容器组、氮气瓶、二硫化碳存储罐、吸收釜模块和回收模块；

所述驱替泵通过一电动机驱动，驱替泵的输入端连接在一液压箱上，所述驱替泵的输出端连接在活塞容器组上驱动活塞容器组运动；所述活塞容器组包括若干并列设置的活塞容器单元，所述活塞容器单元的输出端连接在二硫化碳存储罐上，所述二硫化碳存储罐的输出端连接在吸收釜模块上；所述驱替泵驱动活塞容器带动二硫化碳存储罐进入吸收釜模块内；所述氮气瓶通过一电磁阀并联在吸收釜模块的输入端；

所述吸收釜模块至少包括一对吸收釜，所述该对吸收釜内的底端侧边通过一带电磁阀的平衡管道导通；所述吸收釜内设置有由驱替泵泵送的二硫化碳液体，且与二硫化碳存储罐相连的吸收釜上设置有乙硼烷的进气管道，且该进气管道的底端延伸至吸收釜的底内壁，所述吸收釜的顶端之间通过连接管道相连且连接管道伸入在前一级的吸收釜内的端部位于吸收釜顶盖处，连接管道伸入在后一级的吸收釜内的端部位于吸收釜的底内壁处，最后一级的吸收釜上连接在回收模块上；

所述吸收釜模块包括回收阀、回收罐、回压容器和手摇泵；所述回收罐通过回收阀连接在最后一级的吸收釜上，所述回压容器通过管道连接在回收罐上，所述手摇泵的输出端与回压容器相连。

本实用新型的优点在于：

1)本实用新型中，在进行乙硼烷进行尾气吸附的时候，先将吸附釜内通入氮气将吸附釜内可能存在的潮湿空气进行排除，然后将二硫化碳在驱替泵和活塞容器的配合下将二硫化碳泵入到吸附釜内，通过多级的吸附能够吸附大量的乙硼烷，最后的回收模块也能保证残留的乙硼烷不于空气接触；本实用新型的装置能够在吸附的过程中完全隔开空气，降低乙硼烷吸附过程中的风险。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

图1为本实用新型的一种新型乙硼烷尾气吸附装置的结构示意图。

具体实施方式

下面的实施例可以使本专业的技术人员更全面地理解本实用新型，但并不因此将本实用新型限制在所述的实施例范围之中。

如图1所示的一种新型乙硼烷尾气吸附装置，包括驱替泵1、活塞容器组2、氮气瓶3、二硫化碳存储罐4、吸收釜模块5和回收模块6。