[实用新型]一种氧化物靶材的注浆成型模具

说明书

本实用新型涉及一种氧化物靶材的注浆成型模具，该模具包括防锈磁力吸盘和多个防锈模具钢板，使用时，防锈模具钢板拼接成具有四方形封闭空腔的结构，并通过磁力吸附在防锈磁力吸盘上形成注浆腔体。使用本模具的成型方法是向腔体中注入待成型的氧化物浆料，准备一块同尺寸的塑料膜或布粘有吸水树脂，覆盖在腔体中的浆料表面，浆料中的水份会被超强吸水树脂吸走，中途可对粘有吸水树脂的塑料膜进行更换，待浆料脱水成型后，对磁力吸盘进行退磁，并拆除模具板，即得成型好的坯体。本实用新型采用向上脱水的方式，且脱水媒介可以在成型过程中更换，避免了脱水媒介被堵孔，后期无法脱水的现象；并且模具方便调节尺寸，可应对靶材产品尺寸多变的现状。

技术领域

本实用新型涉及一种氧化物靶材的注浆成型模具。

背景技术

氧化物靶材主要用于磁控溅射镀膜，如ITO靶材、IGZO靶材、AZO靶材等。现有的注浆成型技术有采用石膏吸水的注浆成型、有采用多孔树脂过滤的压滤成型等。石膏吸水的注浆成型，一方面应对多尺寸规格的靶材产品，模具制作较麻烦，另一方面吸水速率会越来越慢，成型时间长，且易于引入杂质；用于氧化物靶材成型的粉体多为纳米级粉体，而现有的用于压滤成型的多孔树脂孔径均为微米级，存在易堵孔的问题。

中国发明专利申请CN200910143355.5公开了一种注浆成型用的模具、其使用方法及所制成的生胚和ITO靶材，该专利所述注浆成型用的模具包括底部、侧壁以及由该底部和侧壁所围成的一容纳空间，其中仅有该底部的材料为吸水性多孔质的材料，而该侧壁无法吸水。该专利底部与侧壁形成的容纳空间尺寸是固定的，不能根据需要进行调节，适用范围小。另外，该专利是通过底部向下吸水，底部是固定的，吸水材料中途不能更换，故存在吸水速率会越来越慢的缺点。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种氧化物靶材的注浆成型模具，该模具结构简单，尺寸可调节，采用该模具在成型过程中可更换脱水媒介，避免了脱水速度降低或无法脱水的情况，解决了上述现有技术中存在的问题。

解决上述技术问题的技术方案是：一种氧化物靶材的注浆成型模具，包括防锈磁力吸盘和多个防锈模具钢板，使用时，防锈模具钢板拼接成具有四方形封闭空腔的结构，并通过磁力吸附在防锈磁力吸盘上形成注浆腔体。

本实用新型的进一步技术方案是：多个防锈模具钢板的高度相同，有部分防锈模具钢板的长度相同，有部分防锈模具钢板的长度不同，防锈模具钢板的高度为80～160mm，长度为100～2000mm。

由于采用上述技术方案，本实用新型具有以下有益效果：

1、本实用新型模具的防锈磁力吸盘和防锈模具钢板之间是通过磁力吸附固定，防锈模具钢板的尺寸有长有短，可根据需要选择合适大小的防锈模具钢板拼接成需要的腔体大小。即本实用新型模具能够方便调节尺寸，适用范围广，可应对靶材产品尺寸多变的现状。

2、采用本实用新型模具成型过程是采用向上脱水的方式，且脱水媒介超强吸水树脂可以在成型过程中更换，避免了脱水媒介被堵孔，后期脱水速度降低或无法脱水的现象，能够提高脱水效率。

下面结合附图和实施例对本实用新型之一种氧化物靶材的注浆成型模具的技术特征作进一步的说明。

附图说明

图1：本实用新型之氧化物靶材的注浆成型模具结构示意图。

图中：1-防锈模具钢板，2-防锈磁力吸盘。

P1表示拼接方式一，P2表示拼接方式二。

具体实施方式

实施例1：一种氧化物靶材的注浆成型模具，如图1所示，包括防锈磁力吸盘2和多个防锈模具钢板1，使用时，防锈模具钢板1拼接成具有四方形封闭空腔的结构，并通过磁力吸附在防锈磁力吸盘上形成注浆腔体。