[实用新型]一种改进的OLED蒸镀装置有效
| 申请号： | 201822225755.8 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN209456545U | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 吴远武;褚天舒 | 申请（专利权）人： | 湖畔光电科技（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京律远专利代理事务所(普通合伙) 11574 | 代理人： | 全成哲 |
| 地址： | 213200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 过滤器 掩膜板 准直 本实用新型 蒸镀装置 有机材料分子 对齐设置 依次设置 阴影效应 预设区域 蒸发源 基板 沉积 改进 开口 改造 | ||
【权利要求书】：
1.一种改进的OLED蒸镀装置，包括由上至下依次设置的基板、掩膜板以及蒸发源，其特征在于：所述掩膜板下方设置有一个准直过滤器，所述准直过滤器包括若干通道，所述准直过滤器的各通道分别与其上方的掩膜板上对应的开口对齐设置。
2.根据权利要求1所述的改进的OLED蒸镀装置，其特征在于：所述准直过滤器由金属、玻璃、聚合物或半导体材料制作而成。
3.根据权利要求1所述的改进的OLED蒸镀装置，其特征在于：所述通道具有高高宽比。
4.根据权利要求1所述的改进的OLED蒸镀装置，其特征在于：所述通道的开口与掩膜板的开口形状及大小一样。
5.根据权利要求1、3或4所述的改进的OLED蒸镀装置，其特征在于：所述通道的高度是其宽度的五倍以上。
6.根据权利要求1所述的改进的OLED蒸镀装置，其特征在于：所述掩膜板为金属精细掩膜板。
7.根据权利要求6所述的改进的OLED蒸镀装置，其特征在于：所述金属精细掩膜板的材质为因瓦合金。
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