[实用新型]一种免拆换晶振片的清洁装置

说明书

本实用新型公开了一种免拆换晶振片的清洁装置，该清洁装置设置于蒸镀腔室内，包括激光发生器、柱形透镜和排料管道，所述激光发生器设置于所述蒸镀腔室内的定位盘背离所述晶振片一侧，与所述激光发生器相对应位置的所述定位盘上设置有通孔，所述激光发生器与所述通孔之间设置有所述柱形透镜，所述排料管道一端与所述激光发生器与所述通孔之间的空间连通，另一端连接抽气泵。本实用新型的清洁装置通过激光发生器产生激光经柱形透镜形成条状光，穿过通孔作用在晶振片上,有机材料吸收激光能量后,蒸发脱离晶振片镀金层，然后被抽气泵从排料管道中抽走，达到了有效清洁晶振片的目的。

技术领域

本实用新型涉及一种免拆换晶振片的清洁装置。

背景技术

在真空腔室内，当开始镀膜时，部分有机材料会沉积到晶振片镀金层，晶振片以此来检测镀膜速率。随着晶振片镀金层有机材料的增加，其振动频率发生变化，晶振片性能下降，需要更换晶振片。目前情况，日常生产中，晶振片使用寿命短，晶振片更换繁琐费时，且晶振片价格昂贵导致成本增大。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种免拆换晶振片的清洁装置，在不降低晶振片性能的情况下清洁晶振片表面有机材料，延长晶振片使用寿命，节省了时间、人力、成本。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种免拆换晶振片的清洁装置，该清洁装置设置于蒸镀腔室内，包括激光发生器、柱形透镜和排料管道，所述激光发生器设置于所述蒸镀腔室内的定位盘背离所述晶振片一侧，与所述激光发生器相对应位置的所述定位盘上设置有通孔，所述激光发生器与所述通孔之间设置有所述柱形透镜，所述排料管道一端与所述激光发生器与所述通孔之间的空间连通，另一端连接抽气泵。

进一步的，所述激光发生器为波长248nm的KrF准分子激光发生器、波长308nm的XeCl准分子激光发生器、波长193nm的ArF准分子激光发生器、Nd:YAG固体激光发生器、CO₂激光发生器或半导体激光发生器。

进一步的，所述通孔的设置位置与所述定位盘上原自带孔的位置对称。

进一步的，所述排料管道为耐高温且内壁不轻易粘附有机材料的管道。

进一步的，所述排料管道包括不锈钢管，所述不锈钢管内壁镀有聚四氟乙烯。

进一步的，所述抽气泵为真空泵或干泵。

进一步的，所述排料管道连接于所述柱形透镜与所述通孔之间。

进一步的，所述排料管道靠近所述通孔设置以便于吸收有机材料。

与现有技术相比，本实用新型的有益技术效果：

激光发生器产生激光通过柱形透镜形成条状光，穿过通孔作用在晶振片上,有机材料吸收激光能量后,蒸发脱离晶振片镀金层，然后被抽气泵从排料管道中抽走，达到了有效清洁晶振片的目的。

附图说明

下面结合附图说明对本实用新型作进一步说明。

图1为本实用新型免拆换晶振片的清洁装置的结构示意图；

图2为晶振片在晶振片转盘的分布示意图；

附图标记说明：1-激光发生器；2-柱形透镜；3-排料管道；4-排料管道；5-定位盘；6-晶振片；7-晶振片转盘。

具体实施方式