[实用新型]一种离线式分双片机

权利要求书

1.一种离线式分双片机，其特征在于：包括控制电箱(1)、满篮入篮装置(2)、分双片装置(3)、硅片入篮装置(4)，所述分双片装置(3)安装于满篮入篮装置(2)与硅片入篮装置(4)之间，所述满篮入篮装置(2)包括入料篮具切换机构(21)、满篮升降机构(22)，所述分双片装置(3)包括单片固定吸盘组机构(31)、六轴分片机械手机构(32)、伸缩线机构(33)，所述硅片入篮装置(4)包括硅片存储机构(41)、硅片输送机构(42)、硅片缓存机构(43)、换篮机构(44)。

2.根据权利要求1所述的一种离线式分双片机，其特征在于：所述入料篮具切换机构(21)包括满篮入篮皮带线(211)、空篮出篮皮带线(212)，所述满篮入篮皮带线(211)安装在空篮出篮皮带线(212)下方，装满双片的满篮放入下层满篮入篮皮带线(211)，送入满篮升降机构(22)取完片后空篮从上层送出。

3.根据权利要求1所述的一种离线式分双片机，其特征在于：所述满篮升降机构(22)包括升降组件(221)、满篮定位组件(222)、花篮进出皮带线(223)，所述升降组件(221)安装在花篮进出皮带线(223)两侧，满篮定位组件(222)安装在升降组件(221)上方，装满双片的花篮从满篮入篮皮带线(211)送至花篮进出皮带线(223)后，升降组件(221)将其升至分片位，满篮定位组件(222)将花篮定位。

4.根据权利要求1所述的一种离线式分双片机，其特征在于：所述单片固定吸盘组机构(31)包括单片固定吸盘组(311)、吸盘组位移组件(312)、单片固定吸盘风干组件(313)，所述单片固定吸盘组(311)与吸盘组位移组件(312)相连接，安装于满篮升降机构(22)之后，单片固定吸盘风干组件(313)安装于单片固定吸盘组(311)上方，单片固定吸盘组(311)进行后固定由满篮升降机构(22)提升至分片位的单侧硅片，六轴分片机械手机构(32)取出另一侧硅片。

5.根据权利要求1所述的一种离线式分双片机，其特征在于：所述硅片存储机构(41)包括硅片存储料盒(411)、存储料盒升降模组(412)，所述硅片存储料盒(411)安装于存储料盒升降模组(412)上，装满硅片的硅片存储料盒(411)随存储料盒升降模组(412)下降至首片位。

6.根据权利要求5所述的一种离线式分双片机，其特征在于：所述六轴分片机械手机构(32)包括六轴机器人(321)、主动吸盘组件(322)，所述主动吸盘组件(322)安装于六轴机器人(321)T轴上，分片机械手将另一侧未固定的硅片取出放置于硅片存储料盒(411)中。

7.根据权利要求1所述的一种离线式分双片机，其特征在于：所述硅片输送机构(42)包括皮带输送组件(421)、硅片检测组件(422)，所述硅片检测组件(422)安装在皮带输送组件(421)中间，装满硅片的料盒下降至首片位后，皮带输送组件(421)将硅片输送至硅片缓存机构(43)。

8.根据权利要求1所述的一种离线式分双片机，其特征在于：所述硅片缓存机构(43)包括硅片缓存料盒(431)、缓存料盒升降模组(432)，所述硅片缓存料盒(431)安装于缓存料盒升降模组(432)上，待硅片缓存料盒(431)中的硅片运输完之后，硅片缓存料盒(431)中的硅片下降至输送硅片的位置。

9.根据权利要求5所述的一种离线式分双片机，其特征在于：所述伸缩线机构(33)包括伸缩线组件(331)、硅片导正组件(332)，从硅片存储料盒(411)输送过来的硅片经硅片导正组件(332)导正后通过伸缩线组件(331)输送至空篮。

10.根据权利要求1所述的一种离线式分双片机，其特征在于：所述换篮机构(44)包括换篮升降模组(441)、花篮限位组件(442)、空篮入篮皮带线组件(443)、满篮出篮皮带线组件(444)，花篮限位组件(442)将空花篮固定，换篮升降模组(441)将其升至装片位，装满后从上层送出。