[实用新型]一种基板的检测设备

权利要求书

1.一种基板的检测设备，用于检测基板(200)，包括支架(6)，其特征在于，还包括：

暂存载台(21)，设置于所述支架(6)上，用于暂存所述基板(200)；

检测机构(1)，包括检测载台(15)，所述检测载台(15)设置于所述支架(6)上，用于所述基板(200)的检测基板；

搬运机构(3)，设置于所述支架(6)上，能够将所述基板(200)搬运至所述暂存载台(21)和所述检测载台(15)上。

2.根据权利要求1所述的基板的检测设备，其特征在于，所述暂存载台(21)或所述检测载台(15)可在暂存位与检测位之间往复移动，且所述暂存载台(21)或所述检测载台(15)可升降地设置于所述支架(6)上以相互避让。

3.根据权利要求1所述的基板的检测设备，其特征在于，所述支架(6)上还设置有载台翻转驱动组件(12)，所述载台翻转驱动组件(12)与所述检测载台(15)连接，用于驱动所述检测载台(15)翻转。

4.根据权利要求1所述的基板的检测设备，其特征在于，所述检测机构(1)还包括可升降且可翻转的设置于所述支架(6)上的翻转臂组件(11)，所述翻转臂组件(11)位于所述检测载台(15)的上方，与所述检测载台(15)分别用于所述基板(200)的相对的第一面和第二面的检测。

5.根据权利要求1所述的基板的检测设备，其特征在于，所述暂存载台(21)的一侧还设置有中转载台(4)；

所述搬运机构(3)包括中转搬运臂组件(32)，所述中转搬运臂组件(32)能够在所述暂存载台(21)和所述中转载台(4)之间往复移动。

6.根据权利要求5所述的基板的检测设备，其特征在于，所述检测设备还包括贴标机构(5)且具有贴标位和出料位，所述中转载台(4)设置为可在所述贴标位与所述出料位之间往复移动。

7.根据权利要求5所述的基板的检测设备，其特征在于，所述搬运机构(3)包括出料搬运臂组件(31)，所述出料搬运臂组件(31)能够将所述中转载台(4)上的所述基板(200)搬离所述检测设备。

8.根据权利要求6所述的基板的检测设备，其特征在于，所述搬运机构(3)包括入料搬运臂组件(33)，所述入料搬运臂组件(33)用以将所述基板(200)置于所述检测载台(15)或所述暂存载台(21)。

9.根据权利要求7所述的基板的检测设备，其特征在于，所述搬运机构(3)还包括龙门组件(34)所述中转搬运臂组件(32)和所述出料搬运臂组件(31)可滑动地设置于所述龙门组件(34)上。

10.根据权利要求1-9任意一项所述的基板的检测设备，其特征在于，所述暂存载台(21)的两侧分别设置有所述检测机构(1)。