[实用新型]一种应用在高纯气体分析中基于八通切换阀的气路

说明书

本实用新型涉及气相色谱技术领域，公开了一种应用在高纯气体分析中基于八通切换阀的气路，包括切换阀、色谱柱、放空针阀、检测器(9)和载气气路，切换阀包括切换阀V1(1)和八通切换阀V2(2)，色谱柱包括第一色谱柱(3)，第二色谱柱(4)和第三色谱柱(5)，放空针阀包括第一放空针阀(6)和第二放空针阀(7)，载气气路包括第一载气气路、第二载气气路和第三载气气路，还包括三通切换球阀(8)。本实用新型的基于八通切换阀的气路实现了用5A分子筛色谱柱检测分离高纯气体中的微量杂质，此外，该气路安装了PDHID后能完成对高纯气体中检测限为0.1ppm以下及5‑10ppm以上的宽量程浓度的微量杂质进行检测。

技术领域

本实用新型涉及气相色谱技术领域，尤其涉及了一种应用在高纯气体分析中基于八通切换阀的气路。

背景技术

现有常规的气体分析用气相色谱仪，一般采用TCD热导检测器或者装置镍触媒转化技术到FID检测器中去测定无机杂质，但其灵敏度低，很难检测到浓度为0.1ppm-10ppm以下的组份；且对O₂与Ar的分离十分困难。

随着我国工业气体的迅速发展，工业空分气体由纯气向高纯气体质量提升解决了大量高纯气体用户的需求，因此，高纯气体产品的质量保证将由高纯气体气相色谱仪来分析完成。

目前，专利号为201320818912.0的实用新型专利公开了一种用于高纯锗烷气中微量杂质分析的氦离子化气相色谱仪，氦离子化气相色谱仪包括色谱柱箱、温控系统、信号采集处理系统和尾气处理系统，信号采集系统包括氦离子化检测器和色谱柱工作站，色谱柱工作站的结构包括三个切换阀、三个色谱柱、四个针阀和三个载气气路，三个切换阀为一个十通阀和两个六通阀，氦离子化检测器与色谱柱工作站的线路连接。该实用新型针对高纯锗烷气中微量杂质进行分析，通过氦离子化检测器高灵敏度实现ppb级别杂质分析，实现一次进样操作即完成对锗烷杂质的全分析，但是该气相色谱仪还是无法完成O₂与Ar的分离。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术中灵敏度低，很难检测到0.1ppm-10ppm以下浓度的组份以及对O₂与Ar的分离困难的缺点，提供了一种应用在高纯气体分析中基于八通切换阀的气路，在分析高纯气体(含高纯氧气)的微量杂质时，既能分析高纯气体中的O₂+Ar组份，利用二次的分析再用差减法分别得出O₂与Ar测量值，也能分析高纯氧气中的Ar、N₂和CH₄组份。

为了解决上述技术问题，本实用新型通过下述技术方案得以解决：

一种应用在高纯气体分析中基于八通切换阀的气路，包括切换阀、色谱柱、放空针阀、检测器和载气气路，切换阀包括切换阀V1和八通切换阀V2，色谱柱包括第一色谱柱，第二色谱柱和第三色谱柱，放空针阀包括第一放空针阀和第二放空针阀，载气气路包括第一载气气路、第二载气气路和第三载气气路，还包括三通切换球阀；

第一载气气路与第一色谱柱连通，切换阀V1与第一色谱柱和第二色谱柱连通，第二色谱柱与氦离子化检测器连通，切换阀V1与八通切换阀V2连通，八通切换阀V2与第一放空针阀、第二放空针阀、第三色谱柱和第二载气气路连通，三通切换球阀与第三载气气路和八通切换阀V2连通。

作为优选，切换阀V1为四通吹扫气动切换阀，以顺时针顺序对四通吹扫气动切换阀进行标号，以四通吹扫气动切换阀与第一色谱柱连接的接口为①号接口，第一色谱柱与四通吹扫气动切换阀的①号接口连通，第二色谱柱与四通吹扫气动切换阀的②号接口连通，八通切换阀V2的①号接口与四通吹扫气动切换阀的④号接口连通，八通切换阀V2的④号接口与四通吹扫气动切换阀的③号接口连通。