[实用新型]载板变形量监控和补偿装置

说明书

本实用新型提供了一种载板变形量监控和补偿装置，包括：腔体，载板通过腔体并进行加工；测距组件，测距组件设置在载板正下方，且固定在腔体底部；距离补偿组件，距离补偿组件设在载板正下方，且固定在腔体底部。本实用新型的技术方案有效地解决了现有技术中的载板在加工的过程中容易出现变形的问题。

技术领域

本实用新型涉及晶片制作的技术领域，具体而言，涉及一种载板变形量监控和补偿装置。

背景技术

在太阳能设备中，为了提高产能，在晶片做工艺时会同时将多个晶片一起进行，多个晶片放在载板上进行工艺。气体匀流喷嘴到晶片的距离对工艺的影响非常大，但是在做工艺时很难检测到两者之间的距离，尤其是在真空设备中不能直接测量。在载板两端支撑时，会由于重力的作用，载板中部会向下变形，载板发生变形后不能发现并及时纠正，会造成晶片的不良率。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种载板变形量监控和补偿装置，以解决现有技术中的载板在加工的过程中容易出现变形的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种载板变形量监控和补偿装置，包括：腔体，载板通过腔体并进行加工；测距组件，测距组件设置在载板正下方，且固定在腔体底部；距离补偿组件，距离补偿组件设在载板正下方，且固定在腔体底部。

进一步地，距离补偿组件包括驱动部和支撑杆，支撑杆设置在驱动部上，以使驱动部驱动支撑杆沿支撑杆的轴向移动。

进一步地，距离补偿组件为电推杆结构、液压结构、气压结构或者电机螺杆结构。

进一步地，测距组件设置在载板正中心的下方位置，测距组件为与距离补偿组件一一对应的多个。

进一步地，距离补偿组件为多个。

进一步地，还包括温度传感器，温度传感器设置在支撑杆的远离驱动部的一端。

进一步地，还包括输送结构，输送结构对称地设置在腔体的左右两侧，且从腔体的传输端开始设置，载板的左右两侧支撑在输送结构上。

进一步地，还包括可伸缩对中组件，可伸缩对中组件设置在腔体的左右两侧，可伸缩对中组件远离腔体的传输端，且可伸缩对中组件的安装高度高于与输送结构，高度不大于载板厚度。

进一步地，还包括位置传感器，位置传感器设置在腔体的传输端的对侧。

应用本实用新型的技术方案，载板在通过腔体进行加工的时候，测距组件测量载板的是否出现变形，当出现变形的时候，距离补偿组件对载板进行支撑，以补充载板的变形量，使得载板归位。这样载板不会出现变形或者变形量很小，进而大大地减少了晶片的不良率。本实用新型的技术方案有效地解决了现有技术中的载板在加工的过程中容易出现变形的问题。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1示出了根据本实用新型的载板变形量监控和补偿装置的实施例的立体结构示意图；

图2示出了图1的载板变形量监控和补偿装置的另一角度的立体结构示意图；

图3示出了图1的载板变形量监控和补偿装置的腔体内部的立体结构示意图；

图4示出了图3的载板变形量监控和补偿装置的A处放大示意图；

图5示出了图1的载板变形量监控和补偿装置的剖视示意图；以及

图6示出了图1的载板的结构示意图。

其中，上述附图包括以下附图标记：