[实用新型]激光平行度检测仪

权利要求书

1.激光平行度检测仪，其特征在于：包括激光干涉系统和工作台，所述激光干涉系统包括检测光路和参考光路，所述工作台包括用于承载被测件的移动平台和用于反射激光的平行平板玻璃；所述平行平板玻璃在检测光路中对激光反射；还包括用于对检测光路和参考光路的图像进行采集和显示的采集显示装置。

2.根据权利要求1所述的激光平行度检测仪，其特征在于：所述检测光路包括激光器、偏振片I、分束镜、波片I和反射镜，激光器发出的激光依次穿过偏振片I、分束镜、波片I后由反射镜反射到平行平板玻璃上，激光由平行平板玻璃反射后原路返回到分束镜上并由分束镜90度反射形成检测光；所述参考光路包括波片II和参考镜，激光器发出的激光经过偏振片I后由分束镜部分反射后经过波片II后由参考镜原路反射，反射的激光再次返回到分束镜后部分透射形成参考光；检测光和参考光形成干涉光并由采集显示装置进行采集和显示。

3.根据权利要求1所述的激光平行度检测仪，其特征在于：所述采集显示装置包括摄像机和显示屏，摄像机采集干涉光并将图像发送给显示屏显示；所述摄像机前端还放置有偏振片II。

4.根据权利要求1所述的激光平行度检测仪，其特征在于：所述移动平台包括固定部和移动部，移动部通过气动方式相对固定部水平移动；固定部底端固定连接有底座；移动部上放置有被测件，被测件上放置有平行平板玻璃。