[实用新型]一种掩膜版清洗装置

说明书

本实用新型公开了一种掩膜版清洗装置，包括基台固定架、掩膜版固定架、喷淋冲洗机构、掩膜版固定架旋转驱动机构；掩膜版固定架用于夹持掩膜版，其为矩形状且宽度和长度可根据掩膜版的尺寸做出适应性调节；喷淋冲洗机构包含第一喷淋冲洗机构和第二喷淋冲洗机构，第一喷淋冲洗机构和第二喷淋冲洗机构可选择性的开启对所述掩膜版进行喷淋；掩膜版固定架旋转驱动机构可带动所述掩膜版固定架绕其水平中轴线以设定速度旋转，掩膜版简易清洗装置，单人操作即可完成，因避免了人为的直接接触，避免了掩膜版的二次污染。

技术领域

本实用新型具体地说是涉及一种掩膜版清洗装置。

背景技术

随着现代3C电子产业的高速发展，手机背板纹理、平板显示器、集成电路板中微纳结构的加工工艺越发关键，掩膜曝光就是其中一种。掩膜曝光中所用的掩膜版通常是在石英玻璃上镀一层铬层，并通过曝光腐蚀工艺制作出所需图案。掩膜版脏污后无法进行曝光实验，否则其上的脏污印记会毫无保留的转移到光刻板上，因此，脏污掩膜版的清洗至关重要。

发明内容

为解决掩膜版清洗问题，本实用新型涉及了一种掩膜版清洗装置，能方便且有效的清洗掩膜版。

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是这样实现的：

一种掩膜版清洗装置，包括基台固定架、掩膜版固定架、喷淋冲洗机构、掩膜版固定架旋转驱动机构；

所述掩膜版固定架用于夹持掩膜版，其为矩形状且宽度和长度可根据掩膜版的尺寸做出适应性调节；

所述喷淋冲洗机构包含第一喷淋冲洗机构和第二喷淋冲洗机构，所述第一喷淋冲洗机构和第二喷淋冲洗机构可选择性的开启对所述掩膜版进行喷淋；

所述掩膜版固定架旋转驱动机构可带动所述掩膜版固定架绕其水平中轴线以设定速度旋转。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述掩膜版固定架由第一掩膜版固定杆、第一固定杆导向架、第二掩膜版固定杆、第二固定杆导向架、第三掩膜版固定杆、第三固定杆导向架依次连接后围合成矩形状，所述第一掩膜版固定杆、第二掩膜版固定杆、第三掩膜版固定杆的内侧均开设有固定卡槽，掩膜版的边缘被接纳在所述固定卡槽内。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：还包括锁紧机构，所述第一固定杆导向架、第二固定杆导向架、第三固定杆导向架开设有导向槽，所述第一掩膜版固定杆、第二掩膜版固定杆、第三掩膜版固定杆可分别在其连接端的所述第一固定杆导向架、第二固定杆导向架、第三固定杆导向架内的导向槽内滑动，所述锁紧机构可选择性的限制所述第一固定杆导向架、第二固定杆导向架、第三固定杆导向架的滑动。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述锁紧机构包含多个锁紧螺钉，所述第一固定杆导向架、第二固定杆导向架、第三固定杆导向架分别在靠近其两端部且一垂直其轴线的侧壁上开设有螺纹孔，所述锁紧螺钉螺纹连接于所述螺纹孔内，旋紧所述锁紧螺钉可将所述第一掩膜版固定杆、第二掩膜版固定杆、第三掩膜版固定杆顶紧在所述导向槽内。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述第一掩膜版固定杆和第三掩膜版固定杆为直角状且二者相邻，所述第二掩膜版固定杆为条状且位于所述第一掩膜版固定杆和第三掩膜版固定杆的相对侧。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述第一喷淋冲洗机构和所述第二喷淋冲洗机构均包含沿所述掩膜版固定架长度方向延伸的至少一根喷淋管以及固定在所述喷淋管上的若干喷嘴，所述喷嘴朝向所述掩膜版固定架。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述掩膜版固定架具有第一种工作状态和第二种工作状态，所述第一种工作状态为其与水平面成30-40°夹角静止状态，所述第二种工作状态为掩膜版固定架旋转驱动机构驱动其以设定转速转动，所述掩膜版固定架可在这两种工作状态进行切换。