[实用新型]一种薄膜蒸镀装置

说明书

本实用新型提供了一种薄膜蒸镀装置，包括用于蒸镀的蒸发室，包括蒸发室本体；支架，用于支持所述蒸发室；用于放置蒸发皿的台体；驱动装置，用于驱动所述台体相对所述蒸发室上下滑动，使所述所述台体与所述蒸发室本体密封连接或离开所述蒸发室本体，以放置或取出所述蒸发皿。在上述的技术方案中，通过设置用于带动上述台体相对上述蒸发室滑动的驱动装置，使设置有至少一个蒸发皿的台体可相对上述蒸发室滑动，从而方便将用于蒸镀的原料放置在上述至少一个蒸发皿内，进而方便将用于蒸镀的原料放置在蒸发室内。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池生产技术领域，尤其涉及一种薄膜蒸镀装置。

背景技术

目前，低碳环保是可持续发展的必由之路，需要发展新能源代替传统的能源。从市场占有率来看，太阳能光伏发电占有的市场份额较高。目前光伏市场多数被硅系太阳能电池占据，但生产硅系太阳能电池本身需要消耗大量的能源，从而使低碳环保大打折扣。由于铜铟镓硒电池具有光吸收能力强、发电稳定性高、转换率低、生产成本低、能源回收周期短等优点，成为未来太阳能电池的最佳选择。

铜铟镓硒薄膜是铜铟镓硒太阳能电池的核心部分，目前制备铜铟镓硒薄膜的制备方法主要有蒸发法、溅射硒化法、电沉积法、丝网印刷法、微粒沉积法、分子束外延法等。其中蒸发法是利用原料在高温真空环境下来进行薄膜沉积的一种物理方法，相比其他的制备方法，蒸发法具有较高的转换效率。但是，目前在采用蒸发法制备薄膜时，不能自动地将用于蒸镀的原料放入蒸发室内和/或将蒸发皿自蒸发室取出；而且在制备薄膜时，不能有效地防止衬底在蒸镀过程中发生移位。

实用新型内容

本实用新型提供了一种薄膜蒸镀装置，用以方便将用于蒸镀的原料放入蒸发室内和/或将蒸发皿自蒸发室取出，且有效地防止衬底在蒸镀过程中发生移位。

本实用新型提供了一种薄膜蒸镀装置，该薄膜蒸镀装置包括用于蒸镀的蒸发室、用于盛放原料的至少一个蒸发皿、以及用于设置上述至少一个蒸发皿的台体；以及驱动装置，用于驱动所述台体相对所述蒸发室上下滑动，使所述台体与所述蒸发室本体密封连接或离开所述蒸发室本体，以放置或取出所述蒸发皿。

在上述的技术方案中，通过设置用于带动上述台体相对上述蒸发室滑动的驱动装置，使设置有至少一个蒸发皿的台体可相对上述蒸发室滑动，从而方便将用于蒸镀的原料放置在上述至少一个蒸发皿内，进而方便将用于蒸镀的原料放置在蒸发室内，和/或方便地将蒸发皿自蒸发室取出。

在上述的技术方案中，上述薄膜蒸镀装置还包括与上述蒸发室固定连接的支架。

在具体设置上述的驱动装置时，上述驱动装置包括固定设置在上述支架上的气缸或液压缸，其中，上述气缸或液压缸的活塞杆与上述台体固定连接。

在上述的方案中，在具体设置上述蒸发室时，上述蒸发室包括蒸发室本体以及蒸镀组件，且在上述台体位于上述第一设定位置时，上述至少一个蒸发皿位于上述蒸发室本体内。其中，上述蒸镀组件包括与上述蒸发室本体滑动连接的滑动架，其中，上述滑动架的滑动方向与上述蒸发室本体的开口平行。上述蒸镀组件还包括设置在上述蒸发室本体并用于将原料蒸发成气态物质的加热装置、以及设置在滑动架上并用于沉积上述原料蒸发后的气态物质以形成薄膜的衬底。通过使滑动架与蒸发室本体滑动连接，以方便衬底的存放。

在具体设置上述的加热装置时，加热装置具体可以为电子枪。

上述滑动架上设置有用于夹持上述衬底的夹持机构。通过夹持机构对衬底的夹持，以减少在蒸镀过程中滑动架的滑动，有效地防止衬底在蒸镀过程中发生移位。

在具体设置上述的夹持机构时，上述的夹持机构包括用于夹持上述衬底的夹板以及弹簧，其中，上述弹簧的一端与上述夹板固定连接，上述弹簧的另一端与上述滑动架固定连接。通过夹板对衬底的夹持，实现夹持机构对衬底的固定。

在上述的方案中，上述蒸发室本体设置有固定上述滑动架的锁定机构。