[实用新型]一种蒸发腔

权利要求书

1.一种蒸发腔，其特征在于，包括：

蒸发腔本体；

气体检测部件，所述气体检测部件设置于所述蒸发腔本体的腔室内，用于检测所述腔室内的目标气体的浓度；

显示部件，所述显示部件设置于所述蒸发腔本体外，所述显示部件与所述气体检测部件电连接，用于显示所述目标气体的浓度。

2.根据权利要求1所述的蒸发腔，其特征在于，所述蒸发腔还包括第一控制件，所述第一控制件设置于所述蒸发腔本体外，所述第一控制件与所述气体检测部件电连接，用于控制所述气体检测部件工作。

3.根据权利要求1所述的蒸发腔，其特征在于，所述蒸发腔还包括保护组件，所述保护组件至少具有第一工作状态和第二工作状态；

其中，当所述保护组件处于所述第一工作状态时，所述保护组件遮挡所述气体检测部件；当所述保护组件处于所述第二工作状态时，所述气体检测部件至少部分外露。

4.根据权利要求3所述的蒸发腔，其特征在于，所述保护组件包括：

保护罩，所述保护罩设置于所述腔室内，所述保护罩至少具有第一工作位置和第二工作位置；在所述第一工作位置时，所述保护罩遮挡所述气体检测部件；在所述第二工作位置时，所述气体检测部件至少部分外露；

驱动机构，所述驱动机构与所述保护罩传动连接，用于驱动所述保护罩运动至所述第一工作位置或所述第二工作位置；

第二控制件，所述第二控制件设置于所述蒸发腔本体外，所述第二控制件与所述驱动机构电连接，用于控制所述驱动机构工作。

5.根据权利要求4所述的蒸发腔，其特征在于，所述保护组件还包括保护连接件，所述保护连接件嵌设于所述蒸发腔本体上且贯穿所述蒸发腔本体，所述保护连接件的第一端面位于所述腔室内，所述保护连接件的第二端面位于所述蒸发腔本体外，所述保护连接件内开设有安装腔，所述安装腔贯穿所述保护连接件的第一端面；

所述气体检测部件安装于所述安装腔内，并通过穿过所述保护连接件的第二端面的第一线缆与所述显示部件电连接；

所述驱动机构安装于所述安装腔内，并通过穿过所述保护连接件的第二端面的第二线缆与所述第二控制件电连接；

所述保护罩与所述保护连接件活动连接，所述保护罩可相对于所述保护连接件运动至所述第一工作位置或所述第二工作位置；其中，在所述第一工作位置时，所述保护罩封堵所述安装腔；在所述第二工作位置时，所述气体检测部件至少部分外露。

6.根据权利要求4所述的蒸发腔，其特征在于，所述保护罩的材质为钛、钛合金、铜或铜合金。

7.根据权利要求3至6任一项所述的蒸发腔，其特征在于，所述显示部件与所述保护组件电连接，所述显示部件还用于显示所述保护组件当前所处的工作状态。

8.根据权利要求1所述的蒸发腔，其特征在于，所述蒸发腔本体为铜铟镓硒共蒸发镀膜设备中的蒸发腔，所述气体检测部件为氟化氢检测仪。