[实用新型]一种镀膜基板固定装置、镀膜腔室及镀膜设备有效
申请号: | 201822173322.2 | 申请日: | 2018-12-24 |
公开(公告)号: | CN209797782U | 公开(公告)日: | 2019-12-17 |
发明(设计)人: | 刘智成;廖明墙;李明;权玉婕;杨振焘 | 申请(专利权)人: | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
主分类号: | C03C17/00 | 分类号: | C03C17/00 |
代理公司: | 11243 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人: | 许静;黄灿 |
地址: | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 镀膜基板 卡紧件 本实用新型 固定装置 镀膜腔室 镀膜设备 可移动 可转动 形变量 抵接 卡紧 转动 承载 | ||
1.一种镀膜基板固定装置,其特征在于,包括:
载体,所述载体用于承载所述镀膜基板,所述载体的两侧分别设置有若干个卡紧件,所述卡紧件通过连接部可转动地设置在所述载体上;
所述卡紧件绕所述连接部转动时,所述卡紧件的任一端可移动至与所述镀膜基板的边缘抵接,以卡紧所述镀膜基板。
2.根据权利要求1所述的镀膜基板固定装置,其特征在于,所述镀膜基板固定装置还包括定位件,所述定位件设置在所述载体上,用于限制所述卡紧件的至少一端的移动位置。
3.根据权利要求2所述的镀膜基板固定装置,其特征在于,所述定位件包括第一定位件和第二定位件,所述第一定位件设置于所述卡紧件和所述镀膜基板之间,所述第二定位件设置于所述卡紧件远离所述镀膜基板的一侧。
4.根据权利要求1所述的镀膜基板固定装置,其特征在于,所述连接部设置于所述卡紧件的第一端和第二端之间。
5.根据权利要求4所述的镀膜基板固定装置,其特征在于,所述连接部距离所述第一端与所述连接部距离所述第二端的长度比为3:1。
6.根据权利要求1所述的镀膜基板固定装置,其特征在于,所述载体和/或所述卡紧件的材质为钛或钛合金。
7.根据权利要求1所述的镀膜基板固定装置,其特征在于,所述载体两侧的卡紧件的数量相同,且对齐设置。
8.根据权利要求1所述的镀膜基板固定装置,其特征在于,所述镀膜基板为浮法玻璃。
9.一种镀膜腔室,其特征在于,包括权利要求1-8中任一项所述的镀膜基板固定装置,所述镀膜腔室还包括驱动机构,所述驱动机构设置于所述镀膜基板固定装置的两侧,用于驱动所述卡紧件绕所述连接部转动。
10.一种镀膜设备,其特征在于,包括进片室和出片室,所述进片室和所述出片室的结构均与如权利要求9所述的镀膜腔室的结构相同,所述进片室的驱动机构用于驱动所述卡紧件移动至与所述镀膜基板的边缘抵接,以卡紧所述镀膜基板,所述出片室的驱动机构用于驱动所述卡紧件远离所述镀膜基板以松开所述镀膜基板。
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