[实用新型]补液装置有效
申请号: | 201822173094.9 | 申请日: | 2018-12-24 |
公开(公告)号: | CN209515610U | 公开(公告)日: | 2019-10-18 |
发明(设计)人: | 沈海军 | 申请(专利权)人: | 通富微电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/60 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 郭栋梁 |
地址: | 226006 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 第二容器 第一容器 助焊剂 液位 液位检测装置 补液装置 驱动装置 芯片 容腔 凸点 检测 驱动 漏检 容纳 补充 申请 保证 | ||
本申请公开了一种补液装置,包括:第一容器:第一容器设置有容腔,容腔用于容纳待补液体;液位检测装置:用于检测第二容器内的液位高度;驱动装置:用于驱动待补液体从第一容器流入第二容器,通过液位检测装置来检测第二容器内的液位高度,当第二容器内的液位高度较低时,需要向第二容器内添加助焊剂,通过驱动装置驱动第一容器内的助焊剂流入第二容器中,对第二容器内的助焊剂进行补充,避免出现芯片凸点蘸润不足的情况,不需要对各个芯片凸点进行检测,避免出现漏检的情况,保证了芯片的质量。
技术领域
本实用新型一般涉及半导体领域,具体涉及半导体封装,尤其涉及一种补液装置。
背景技术
在对芯片进行加工时,需要先将芯片上的金属凸点蘸取助焊剂,然后将芯片放置于基板或者框架表面进行回流固定,使得凸点固定在基板或者框架表面。通常助焊剂放置在容置槽内,而在生产过程中,由于助焊剂会逐渐减少,导致容置槽内的助焊剂的液位降低,在液位降低到一定高度后,芯片凸点会出现蘸润不足的情况,使得凸点和基板或者框架固定不牢固,影响芯片的质量。
现有技术中,通过检测凸点的蘸润情况来确定容置槽内助焊剂的液位情况,会出现检测延迟以及漏检的情况,并且检测数量比较多,操作复杂。
实用新型内容
鉴于现有技术中的上述缺陷或不足,期望提供一种操作简单、不会出现漏检的补液装置。
第一方面,本实用新型的补液装置,包括:
第一容器:第一容器设置有容腔,容腔用于容纳待补液体;
液位检测装置:用于检测第二容器内的液位高度;
驱动装置:用于驱动待补液体从第一容器流入第二容器。
根据本申请实施例提供的技术方案,通过液位检测装置来检测第二容器内的液位高度,当第二容器内的液位高度较低时,需要向第二容器内添加助焊剂,通过驱动装置驱动第一容器内的助焊剂流入第二容器中,对第二容器内的助焊剂进行补充,避免出现芯片凸点蘸润不足的情况,不需要对各个芯片凸点进行检测,避免出现漏检的情况,保证了芯片的质量,能够解决现有的检测会出现漏检、操作复杂的问题。
附图说明
通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述,本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
图1为本实用新型的实施例的补液装置的结构示意图;
图2为本实用新型的实施例的补液装置的结构示意图;
图3为本实用新型的实施例的补液装置的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关实用新型,而非对该实用新型的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与实用新型相关的部分。
需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
请参考图1至3,本实用新型的补液装置,其特征在于,包括:第一容器10:第一容器10设置有容腔11,容腔11用于容纳待补液体;液位检测装置20:用于检测第二容器50内的液位高度;驱动装置30:用于驱动待补液体从第一容器10流入第二容器50。
在本实用新型的实施例中,第一容器可以但不仅仅为圆柱体、长方体、正方体,可以将容腔的形状与第一容器的形状设置为一致,能够减轻第一容器的重量,便于移动第一容器,也能够降低第一容器的制造成本。可以在容腔设置补液口,当容腔内的待补液体用完或者快要用完时,通过补液口向容腔补充待补液体。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造