[实用新型]一种微动平台以及多维微动系统

说明书

本实用新型涉及一种微动平台以及多维微动系统。该微动平台包括无铁芯直线电机，底座和滑台；其中，所述无铁芯直线电机包括定子组件和相对于定子组件做往复直线运动的动子组件；所述定子组件安装在所述底座上，所述定子组件包括平行于底座设置的磁轭，所述磁轭与底座相对的两个壁面上对称的设置有磁铁阵列；所述动子组件位于磁轭与底座之间，且其一侧从磁轭与底座之间的间隙穿出；所述滑台滑动配合在所述底座上，所述滑台的一侧与动子组件穿出磁轭与底座之间间隙的一侧装配在一起，所述滑台被配置为：在动子组件的驱动下做往复直线运动。本实用新型的一个技术效果为：将定子组件一侧的磁铁阵列直接固定在底座上，利于降低微动平台的高度。

技术领域

本实用新型涉及运动平台领域，更具体地，本实用新型涉及一种微动平台以及多维微动系统。

背景技术

近年来，随着科学技术的快速发展以及微电子产品的日益普及，人们开始越来越重视微电子产品的开发与应用。而微电子产品的加工通常涉及较为精密的加工技术，在加工中通常要用到微动平台。基于此，微动平台作为微电子产品的加工设备近年来被广泛应用，并呈现出快速发展的趋势。很多学者也在不断的研究微动平台。

目前，市面上的微动平台大多是由微型旋转电机以及丝杠等部件联合构成的，整个装置的结构较为复杂、尺寸也比较大，但响应速度却比较慢，在实际的应用中具有明显的缺陷。而对于拥有更高运动精度的微动平台来说，其中多采用压电陶瓷、磁驱动、摩擦驱动等方法来实现，虽然响应速度相对较快，但是存在制作成本高、控制方式复杂、以及维护不方便等诸多问题，这些问题也限制了其在加工生产中的应用。

由此可见，非常有必要研究出微动平台的新方案，以解决现有技术中存在的至少一个问题。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是提供一种微动平台的新技术方案。

根据本实用新型的第一个方面，提供一种微动平台，包括：

无铁芯直线电机，所述无铁芯直线电机包括定子组件和相对于定子组件做往复直线运动的动子组件；

底座，所述定子组件安装在所述底座上，所述定子组件包括平行于底座设置的磁轭，所述磁轭与底座相对的两个壁面上对称的设置有磁铁阵列；所述动子组件位于磁轭与底座之间，且其一侧从磁轭与底座之间的间隙穿出；

用于装配负载的滑台，所述滑台滑动配合在所述底座上，所述滑台的一侧与动子组件穿出磁轭与底座之间间隙的一侧装配在一起，所述滑台被配置为：在动子组件的驱动下做往复直线运动。

可选地，在磁轭和底座的两端部还分别设置有支撑件，所述磁轭支撑在所述支撑件上，所述支撑件被配置为：用于将磁轭与底座分隔开，以使磁轭与底座之间形成供动子组件穿过的间隙。

可选地，所述底座上设置有用于在第一方向上定位所述磁铁阵列的第一台阶，以及用于在第二方向上定位所述磁铁阵列的第二台阶。

可选地，所述磁铁阵列包括多个并排设置的磁铁块，且相邻的两个磁铁块之间通过分隔件隔开。

可选地，所述的微动平台，还包括传感器，所述传感器安装在所述底座的一侧边上，所述传感器被配置为：用于检测滑台的位置。

可选地，所述传感器为线性编码器；其中，所述线性编码器的读数头装配在底座上，所述线性编码器的栅尺装配在滑台上。

可选地，所述的微动平台，还包括一对限位块，所述一对限位块固定在底座设置有传感器的侧边上；所述滑台的一侧设置有与一对限位块相配合的挡块，当滑台在动子组件的驱动下做往复直线运动时，挡块在一对限位块之间往复运动，所述挡块、一对限位块之间被配置为：用于限制滑台运动的起点位置、终点位置。