[实用新型]一种分片装置

权利要求书

1.一种分片装置，包括工作台(1)，所述工作台(1)被配置为承载花篮(2)，其特征在于，所述分片装置还包括：

上吸盘(3)，所述上吸盘(3)设置于所述工作台(1)的上方，所述上吸盘(3)包括多个平行且间隔设置的上吸片(31)；及

侧吸盘(4)，所述侧吸盘(4)设置于所述工作台(1)的一侧，所述侧吸盘(4)包括多个平行且间隔设置的侧吸片(41)；

所述侧吸盘(4)和所述上吸盘(3)均能伸入到所述花篮(2)内，且伸入所述花篮(2)同一卡槽(221)内的所述侧吸片(41)和所述上吸片(31)分别位于贴合的两张硅片(5)的两侧以分别吸附一张所述硅片(5)，所述侧吸片(41)和所述上吸片(31)沿竖直方向间隔指定距离H。

2.如权利要求1所述的分片装置，其特征在于，所述指定距离H为35mm-40mm。

3.如权利要求2所述的分片装置，其特征在于，所述指定距离H为37mm。

4.如权利要求1所述的分片装置，其特征在于，所述侧吸片(41)吸附所述硅片(5)表面靠近下端的部分；所述上吸片(31)吸附所述硅片(5)表面靠上端的部分。

5.如权利要求1-4中任一项所述的分片装置，其特征在于，所述分片装置还包括：

第一驱动机构，所述第一驱动机构被配置为驱动所述上吸盘(3)伸入所述花篮(2)内或由所述花篮(2)内抽出，并驱动所述上吸盘(3)在水平方向上沿靠近或远离所述硅片(5)的方向移动；及

第二驱动机构，所述第二驱动机构被配置为驱动所述侧吸盘(4)伸入所述花篮(2)内或由所述花篮(2)抽出，并驱动所述侧吸盘(4)在水平方向上沿靠近或远离所述硅片(5)的方向移动。

6.如权利要求5所述的分片装置，其特征在于，所述第一驱动机构包括：

升降组件，所述升降组件被配置为驱动所述上吸盘(3)升降；及

平移组件，所述平移组件设置于所述升降组件上且与所述上吸盘(3)连接，所述平移组件被配置驱动所述上吸盘(3)沿靠近或远离所述硅片(5)的方向移动。

7.如权利要求1-4中任一项所述的分片装置，其特征在于，所述分片装置还包括：

定位组件，所述定位组件设置于所述工作台(1)上，所述定位组件用于固定所述花篮(2)。

8.如权利要求7所述的分片装置，其特征在于，所述定位组件包括：

至少一组定位件(6)，每组定位件(6)包括两个位于所述花篮(2)相对两侧的定位件(6)，所述定位件(6)与所述花篮(2)抵接。

9.如权利要求8所述的分片装置，其特征在于，所述定位件(6)为气缸。

10.如权利要求8所述的分片装置，其特征在于，所述定位组件包括两组定位件(6)，两组定位件(6)中的一组沿所述花篮(2)的宽度方向设置，另一组沿所述花篮(2)的长度方向设置。