[实用新型]一种DBC模块键合用定位夹具有效

专利信息
申请号: 201822150800.8 申请日: 2018-12-20
公开(公告)号: CN209056475U 公开(公告)日: 2019-07-02
发明(设计)人: 叶豪;刘芷含 申请(专利权)人: 浙江海洋大学
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/68
代理公司: 宁波市鄞州盛飞专利代理事务所(特殊普通合伙) 33243 代理人: 龙洋
地址: 316022 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 真空腔 定位块 底座 定位夹具 模块键 上表面 连通 定位板 螺纹孔 密封垫 下表面 基板 定位夹具定位 本实用新型 定位组件 工件定位 基板定位 螺纹连接 矩形状 无缝隙 吸附力 漏气 气道 通孔 贯穿
【说明书】:

本实用新型提供了一种DBC模块键合用定位夹具,属于工件定位技术领域。它解决了现有的DBC模块通过定位夹具定位不稳定的问题。本DBC模块键合用定位夹具,包括底座和与底座固定连接的定位板,所述底座的上表面开设有真空腔,所述底座的下表面开设有连通真空腔的通孔,定位板上开设有连通真空腔的螺纹孔,DBC板定位组件包括定位块,定位块的下表面具有与螺纹孔螺纹连接的连接部,定位块的上表面开设有贯穿连接部并与真空腔连通的气道,定位块的上表面固定有呈矩形状的密封垫。本结构的DBC基板与密封垫接触的部位基本无缝隙,避免真空腔漏气,大大提高对DBC基板的吸附力,提高了DBC基板定位的稳定性。

技术领域

本实用新型属于工件定位技术领域,涉及一种定位夹具,特别是一种DBC模块键合用定位夹具。

背景技术

DBC模块是构成IGBT模块的重要组成部分,多个DBC模块连接组合形成IGBT模块,DBC模块一般包括有基板和设置在基板上的多块芯片,芯片与芯片之间通过键合线连接,所以在键合前,先要将DBC模块放置在定位夹具上定位,这样才能保证键合时DBC模块不发生移动。

目前,传统的用于定位DBC模块的定位夹具一般包括有底座和定位板,底座上具有真空腔和连通真空腔的通孔,定位板固定在底座的一端并将真空腔的开口端封闭,定位板上开设有连通真空腔的吸附孔,使用时,将DBC模块摆放在定位板的上表面,DBC模块与定位板的上表面接触并将吸附孔覆盖住,通孔外接抽气装置对真空腔进行抽真空操作,DBC模块通过吸附孔被吸附在定位板的上表面,由于这种吸附力度是有限的,在键合过程中DBC模块容易与定位板的上表面发生相对滑动,并且DBC模块与定位板之间是面面接触的,DBC模块的下表面与定位板的上表面之间无法紧密贴合,使得,DBC模块的下表面与定位板的上表面之间存在漏气间隙,DBC模块在定位板的上表面定位不稳定,影响后期的键合操作。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题,提出了一种DBC模块键合用定位夹具,本实用新型所要解决的技术问题是:如何提高DBC板定位的稳定性。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现:

一种DBC模块键合用定位夹具,包括底座和与底座固定连接的定位板,所述底座的上表面开设有真空腔,所述底座的下表面开设有连通真空腔的通孔,所述定位板的下表面与底座的上表面贴合,所述定位板上开设有连通真空腔的螺纹孔,其特征在于,所述定位夹具还包括有与螺纹孔连接的DBC板定位组件,所述DBC板定位组件包括定位块,所述定位块的下表面具有与螺纹孔螺纹连接的连接部,所述定位块的上表面开设有贯穿连接部并与真空腔连通的气道,所述定位块的上表面固定有呈矩形状的密封垫,所述定位块上表面位于密封垫左右侧的位置均固定有定位柱。

在上述的一种DBC模块键合用定位夹具中,所述密封垫通过胶水粘接在定位块的上表面,所述密封垫的上端面圆滑过渡。

在上述的一种DBC模块键合用定位夹具中,所述定位柱的上端面具有能够与DBC基板插接配合的定位部,所述密封垫的上端面高于定位柱的上端面。

在上述的一种DBC模块键合用定位夹具中,所述螺纹孔具有若干个,每个螺纹孔均连接有所述的DBC板定位组件。

在上述的一种DBC模块键合用定位夹具中,所述通孔具有若干个,若干个通孔与若干个螺纹孔一一对应,每个通孔内均连接有气管接头。

与现有技术相比,本实用新型的DBC模块键合用定位夹具具有以下优点:真空腔抽真空后,通过气道将DBC基板向下吸附,DBC基板受到一个向下的力,进而使得DBC基板的下表面与密封垫的上端面紧密贴合,DBC基板与密封垫接触的部位基本无缝隙,避免真空腔漏气,与现有技术相比大大提高对DBC基板的吸附力,提高了DBC基板定位的稳定性。

附图说明

图1是本实用新型的剖面结构示意图。

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