[实用新型]一种新型保持环及装有该保持环的化学机械抛光机

说明书

本实用新型涉及机械领域，具体涉及一种新型保持环及装有该保持环的化学机械抛光机。一种新型保持环，包括一保持环，保持环的上表面设有至少三个呈倾斜设置的第一条状凹槽，保持环的下表面设有至少三个螺栓孔；保持环包括一不锈钢制成的环状体，环状体的外侧包裹有一塑料层。本实用新型通过此设计，提供了一种新型保持环，通过不锈钢制成的环状体外包裹塑料层，环状体的表面设有多个条状凹槽，在通过注塑机进行注塑后，塑料层与环状体之间的连接更稳定，加强了结构强度，提高了使用寿命，同时降低了生产成本。

技术领域

本实用新型涉及机械领域，具体地，涉及保持环。

背景技术

在集成电路行业中，化学机械抛光是获得全局平坦化的技术，随着晶圆直径的增加，在加工过程中，晶圆边缘容易出现“过磨”现象，降低了平坦度和晶圆利用率；在晶圆外部施加保持环可以把晶圆中心处和边缘处的研磨垫压平到一致高度，克服晶圆边缘的“过磨”现象。传统保持环的制作工艺有两种：第一种采用全塑料加金属螺母，螺母以镶嵌式埋入保持环内，制作时，将预制好的PEEK或PPS塑料板材切断成要求方形后，通过车床加工出要求的圆形环，再将加工好的圆形环固定在铣床上面并进行切槽、钻孔、攻牙、清洗操作，最后将加工好的圆环固定在治具上压入加工好的螺母；第二种采用半塑料半金属，将加工好的PEEK或PPS胶圈与加工好的不锈钢用胶水粘合成整体，制作时，将预制好的PEEK或PPS塑料板材切断成要求方形，通过车床加工出要求的圆形环，再将加工好的圆形环固定在铣床上面进行切槽、清洗操作，再将不锈钢管材用车床加工成特定的圆形环并利用铣床进行钻孔、攻牙、清洗操作，最后将加工好的PEEK或PPS塑料圆环与加工好的不锈钢圆环通过特制胶水粘合。以上两种传统保持环的制作工艺在制作过程中PEEK或PPS塑胶板材边角材料占比太大，损耗太大，其加工成本高昂、产量低、精度尺寸很难把握、工序繁琐、累计公差太大、平整度难以保证，良品率低；并且在使用时，保持环结构强度低、使用寿命短。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种新型保持环，以解决上述至少一个技术问题。

为了达到上述目的，本实用新型采用下述技术方案：

一种新型保持环，包括一保持环，其特征在于，所述保持环的上表面设有至少三个呈倾斜设置的第一条状凹槽，至少三个所述第一条状凹槽等间距排布在所述保持环的上表面上，所述保持环的下表面设有至少三个螺栓孔，至少三个螺栓孔等间距排布在所述保持环的下表面上；

所述保持环包括一不锈钢制成的环状体，所述环状体的外侧包裹有一塑料层；

所述环状体的上表面上设有至少两个第二条状凹槽，至少两个所述第二条状凹槽呈环状排布在所述环状体的上表面上；

靠近所述环状体的上表面的所述环状体的内侧壁上设有第三条状凹槽，所述第三条状凹槽呈环状排布在所述环状体的内侧壁上；

靠近所述环状体的上表面的所述环状体的外侧壁上设有第四条状凹槽，所述第四条状凹槽呈环状排布在所述环状体的外侧壁上。

所述塑料层采用PEEK或PPS中的一种。

所述第三条状凹槽与所述环状体的上表面之间的距离不大于所述环状体的高度的二分之一；

所述第四条状凹槽与所述环状体的上表面之间的距离不大于所述环状体的高度的二分之一。

所述环状体采用牌号为17-4PH的马氏体不锈钢制成。

所述第一条状凹槽的侧壁与所述保持环的上表面的连接处倒圆角。

所述保持环的内侧壁上设有第五条状凹槽，所述第五条状凹槽呈环状排布在所述保持环的内侧壁上。

所述保持环的外侧壁上设有至少三条呈纵向排布的加强筋，至少三条所述加强筋等间距排布在所述保持环的外侧壁上。