[实用新型]一种硅芯清洗擦拭装置

说明书

本实用新型提供一种硅芯清洗擦拭装置，包括：送料机构，用于将上料台上的待清洗的硅芯输送至清洗机构；清洗机构，用于对输送来的硅芯进行清洗和擦拭；烘干机构，用于对清洗后的硅芯进行烘干；出料机构，用于将烘干后的硅芯输送至下料台；以及，控制器，其分别与所述送料机构、所述清洗机构、所述烘干机构和所述出料机构电连接，用于控制这些机构动作。使用本实用新型所述的硅芯清洗擦拭装置，能够一次完成多根硅芯的清洗、擦拭和烘干，相比人工擦拭效果更好，清洗完全，无死角，可实现硅芯切割后快速全面的清洁，并且不会折损硅芯，从而大大降低了硅芯损伤率和工人的劳动强度，提高生产效率，降低成本。

技术领域

本实用新型涉及硅芯制备技术领域，具体涉及一种硅芯清洗擦拭装置。

背景技术

硅芯作为生产多晶硅时还原炉内多晶硅料沉积的载体，其表面洁净程度将直接影响到多晶硅成品的品质，而硅芯在经过去头尾、线切割、脱胶、锥磨等工序加工至合格尺寸与形状的过程中，会受到硅泥粉尘、有机物、金属元素等的污染，因此硅芯的清洗十分重要。

现有硅芯清洗工艺主要为，先通过人工冲洗再进酸洗机清洗来达到硅芯清洗的目的。酸洗一般由HF和HNO₃共同作用，对硅芯表面进行有效的腐蚀，其反应如下：

Si+4HNO₃+6HF＝H₂SiF₆+4NO₂+4H₂O

然而，现有清洗工艺中，人工冲洗随意性大，容易存在盲区，硅芯表面附着的杂物无法清洗干净，需延长酸腐蚀时间或重复酸腐蚀操作以保证清洗质量，不仅增加了酸的用量和清洗时间，还使硅芯的外形尺寸变小，造成硅芯尺寸不合格；同时，由于大部分硅芯为细长的单多晶混合硅芯棒，如常见硅芯为截面：7mm×7mm～15mm×15mm，长度：2～4m的方硅芯，在人工擦拭时易发生因用力不均匀而断损的现象，造成成品硅芯的浪费，而且人工擦拭时需要翻转4个面进行擦拭，具数据统计，擦拭100根方硅芯，需要2个人，连续作业1个小时，耗费人工且效率较低。

实用新型内容

为了至少部分解决现有技术中存在的人工清洗时硅芯表面清洗不干净，硅芯损伤，效率低下等技术问题而完成了本实用新型。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是：

本实用新型提供一种硅芯清洗擦拭装置，包括：送料机构，用于将上料台上的待清洗的硅芯输送至清洗机构；清洗机构，用于对输送来的硅芯进行清洗和擦拭；烘干机构，用于对清洗后的硅芯进行烘干；出料机构，用于将烘干后的硅芯输送至下料台；以及，控制器，其分别与所述送料机构、所述清洗机构、所述烘干机构和所述出料机构电连接，用于控制这些机构动作。

硅芯切割后一般为细长条形状，截面为正方形，使用本实用新型的清洗擦拭装置可对硅芯进行输送式摩擦擦拭加喷洒式冲洗方式进行清洗，从而对硅芯进行更全面的清洗，并且硅芯平直向前输送，不会受到外力折损，装置的清洗参数和运行都由控制器控制，比人工更稳定，且无遗漏，并能实现一次清洗多根硅芯，节省人工且提高效率。

进一步的，所述清洗机构包括喷洗装置和硅芯清洗辊；所述喷洗装置包括多个角度可调整的喷头，用于向所述送料机构输送来的硅芯喷射清洗液以冲洗硅芯，以及向所述硅芯清洗辊喷射清洗液以冲洗清洗辊；所述硅芯清洗辊用于对淋有清洗液的硅芯进行擦拭。

进一步的，所述喷洗装置包括前喷洗装置和后喷洗装置，且所述硅芯清洗辊位于所述前喷洗装置和所述后喷洗装置之间。硅芯从送料机构向前输送到清洗机构时，前端悬空，前喷洗装置先对硅芯进行冲洗，去除硅芯上的大的赃污，再通过清洗辊擦拭和后喷洗装置冲洗，达到分段多重清洗的目的，同时在清洗辊的上方也设有喷头对清洗辊冲洗，去除清洗辊上的异物，使硅芯清洗更干净。