[实用新型]基于能量粒子穿透特性测量离子束粒子成分的能量分析器

权利要求书

1.基于能量粒子穿透特性测量离子束粒子成分的能量分析器，其特征在于：它包括第一金属膜片(2)、第二金属膜片(3)和第三金属膜片(4)，第一金属膜片(2)、第二金属膜片(3)和第三金属膜片(4)后均设置一个探测器(8)，高能量离子束I₁分别入射至第一金属膜片(2)、第二金属膜片(3)和第三金属膜片(4)，经过第一金属膜片(2)、第二金属膜片(3)和第三金属膜片(4)后分别输出透过第一金属膜片的离子束(5)，透过第二金属膜片的离子束(6)和透过第三金属膜片的离子束(7)，透过第一金属膜片的离子束(5)，透过第二金属膜片的离子束(6)和透过第三金属膜片的离子束(7)分别输入至探测器(8)并分别输出接收到透过第一金属膜片(2)的电流I_I，探测器接收到透过第二金属膜片(3)的电流I_II，探测器接收到透过第三金属膜片(4)的电流I_III。

2.如权利要求1所述的基于能量粒子穿透特性测量离子束粒子成分的能量分析器，其特征在于：所述的第一金属膜片(2)的厚度为L_a。

3.如权利要求1所述的基于能量粒子穿透特性测量离子束粒子成分的能量分析器，其特征在于：所述的第二金属膜片(3)的厚度为L_b。

4.如权利要求1所述的基于能量粒子穿透特性测量离子束粒子成分的能量分析器，其特征在于：所述的第三金属膜片(4)的厚度为L_c。

5.如权利要求1所述的基于能量粒子穿透特性测量离子束粒子成分的能量分析器，其特征在于：所述的探测器(8)为法拉第筒。

6.如权利要求1所述的基于能量粒子穿透特性测量离子束粒子成分的能量分析器，其特征在于：所述的探测器(8)为电子倍增管。

7.如权利要求1所述的基于能量粒子穿透特性测量离子束粒子成分的能量分析器，其特征在于：所述的探测器(8)为微通道板。