[实用新型]一种低噪声的激光外差干涉光路系统

权利要求书

1.一种低噪声的激光外差干涉光路系统，其特征在于：包括激光器（1）、第一偏振分光棱镜（2）、第一声光移频器（3）、第一平面反射镜（4）、第二偏振分光棱镜（5）、1/4玻片（6）、激光收发天线（7）、第二声光移频器（8）、第三声光移频器（9）、第二平面反射镜（10）、第三平面反射镜（11）、第三偏振分光棱镜（12）、第四偏振分光棱镜（13）、第一检偏器（14）、第二检偏器（15）、第一探测器（16）和第二探测器（17），激光器（1）发出激光经第一偏振分光棱镜（2）进行分光，透射光形成第一光束（18）作为测量光，反射光形成第二光束（19）作为参考光；第一光束（18）经过第一声光移频器（3）发生衍射，零级和一级衍射光为有用光束，其中零级衍射光传播方向没有改变，依然视为第一光束（18），一级衍射光形成第一衍射光束（20）；第一衍射光束（20）经第一平面反射镜（4）反射后，入射到第三偏振分光棱镜（12），光束传播方向与第一光束（18）垂直；第一光束（18）继续传播，经过第二偏振分光棱镜（5）和1/4玻片（6）后，入射到收发天线（7），发射到待测目标物处；由目标物反射的激光被收发天线（7）接收，沿与第一光束（18）相反的方向传播，在第二偏振分光棱镜（5）处发生反射，入射到第四偏振分光棱镜（13），此时其传播方向与第一光束方向垂直；第二光束（19）作为参考光，首先经过第二声光移频器（8）产生移频，其中的负一级衍射光为有用信号，继续作为第二光束入射到第三声光移频器（9），经第三声光移频器（9）后，其零级衍射光作为第二光束（19），一级衍射光作为第二衍射光束（21）；第二衍射光束（21）经第三平面反射镜（11）反射后，入射到第四偏振分光棱镜（13），其传播方向与第一光束平行；第二光束（19）经第二平面反射镜（10）反射后，入射到第三偏振分光棱镜（12）；第一衍射光束（20）和第二光束（19）在第三偏振分光棱镜（12）处合束并发生干涉效应，合束后的光束经过第二检偏器（15）后，被第二探测器（17）接收；第二衍射光束（21）和第一光束（18）在第四偏振分光棱镜（13）处合束并发生干涉效应，合束后的光束经过第一检偏器（14）后，被第一探测器（16）接收。

2.根据权利要求1所述的低噪声的激光外差干涉光路系统，其特征在于：通过调整第二平面反射镜（10）的角度，使第一衍射光束（20）和第二光束（19）在第三偏振分光棱镜（12）处合束并发生干涉效应。

3.根据权利要求1所述的低噪声的激光外差干涉光路系统，其特征在于：通过调整第三平面反射镜（11）的角度，使第一光束（18）和第二衍射光束（21）在第三偏振分光棱镜（12）处合束并发生干涉效应。

4.根据权利要求1所述的低噪声的激光外差干涉光路系统，其特征在于：所述激光器为窄线宽线偏振连续波稳频激光器。

5.根据权利要求1所述的低噪声的激光外差干涉光路系统，其特征在于：第一、第二、第三声光移频器的移频量分别为、、，且移频量两两之间差值不同。

6.根据权利要求5所述的低噪声的激光外差干涉光路系统，其特征在于：第一探测器的响应通带范围包含频率，第二探测器的响应通带范围包含频率。