[实用新型]一种贴膜平台铁环定位结构有效
| 申请号: | 201822104341.X | 申请日: | 2018-12-14 |
| 公开(公告)号: | CN209087801U | 公开(公告)日: | 2019-07-09 |
| 发明(设计)人: | 葛文志;翁欽盛;王懿伟;葛文琴;陈银培 | 申请(专利权)人: | 浙江美迪凯现代光电有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/67 |
| 代理公司: | 杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) 33260 | 代理人: | 龚玉平 |
| 地址: | 317500 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 铁环 贴膜 本实用新型 定位结构 紧固定位 左右分布 大开口 定位销 限位部 小开口 正反面 并用 | ||
本实用新型公开了一种贴膜平台铁环定位结构,包括贴膜平台和铁环,所述贴膜平台上设有铁环限位部,所述铁环上设有左右分布的大开口和小开口,铁环放置在贴膜平台上并用若干定位销固定。本实用新型具有铁环的紧固定位效果好,贴膜时可区分铁环的正反面,结构简单等优点。
【技术领域】
本实用新型涉及贴膜装置的技术领域,特别是一种贴膜平台铁环定位结构的技术领域。
【背景技术】
晶圆贴膜机是常用的贴膜设备,传统的晶圆贴膜机对于放置铁环的开口方向没有要求,铁环的开口方向或向左或向右,开口大小也相同,铁环放置时开口无约束,铁环不易定位放置,贴膜操作时会出现铁环的方向不易区分,使得贴膜异常。
【发明内容】
本实用新型的目的就是解决现有技术中的问题,提出一种贴膜平台铁环定位结构,能够使铁环的紧固定位效果好,贴膜时可区分铁环的正反面,结构简单。
为实现上述目的,本实用新型提出了一种贴膜平台铁环定位结构,包括贴膜平台和铁环,所述贴膜平台上设有铁环限位部,所述铁环上设有左右分布的大开口和小开口,铁环放置在贴膜平台上并用若干定位销固定。
作为优选,所述定位销的数量为2,所述铁环放置在贴膜平台上且两根定位销分别对应卡入铁环上的大开口和小开口内。
作为优选,所述铁环下端抵住铁环限位部。
本实用新型的有益效果:本实用新型通过将铁环上设有左右分布的大开口和小开口,铁环放置在贴膜平台上并用若干定位销固定,通过大开口和小开口的位置即可区分铁环的正反面,有效避免后续贴膜过程中出现的异常现象发生,该贴膜平台铁环定位结构整体结构简单,使用方便,铁环的紧固定位效果好,易拆装。
本实用新型的特征及优点将通过实施例结合附图进行详细说明。
【附图说明】
图1是本实用新型一种贴膜平台铁环定位结构的结构示意图。
图中:1-贴膜平台、2-铁环、3-定位销、11-铁环限位部、21-大开口、22-小开口。
【具体实施方式】
参阅图1,本实用新型一种贴膜平台铁环定位结构,包括贴膜平台1和铁环2,贴膜平台1上设有铁环限位部11,铁环2上设有左右分布的大开口21和小开口22,铁环2放置在贴膜平台1上并用若干定位销3固定,定位销3的数量为2,铁环2放置在贴膜平台1上且两根定位销3分别对应卡入铁环2上的大开口21和小开口22内,铁环2下端抵住铁环限位部11,大开口21的开口方向朝右,小开口22的开口方向朝上。
本实用新型工作过程:
本实用新型一种贴膜平台铁环定位结构在工作过程中,将铁环2放置在贴膜平台1上,放置过程中铁环2上的大开口21和小开口22分别对准贴膜平台1上两个定位销3定位安装,铁环2下端面抵住贴膜平台1上的铁环限位部11,压膜滚轮即可往铁环2上进行贴膜操作,其中贴膜时铁环2的正反面可以通过左右分布的大开口21和小开口22的开口方向进行区分。
本实用新型一种贴膜平台铁环定位结构,将铁环2上设有左右分布的大开口21和小开口22,铁环2放置在贴膜平台1上并用若干定位销3固定,通过大开口21和小开口22的位置即可区分铁环1的正反面,有效避免后续贴膜过程中出现的异常现象发生,该贴膜平台铁环定位结构整体结构简单,使用方便,铁环2的紧固定位效果好,易拆装。
上述实施例是对本实用新型的说明,不是对本实用新型的限定,任何对本实用新型简单变换后的方案均属于本实用新型的保护范围。
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