[实用新型]一种模块化洁净室

权利要求书

1.一种模块化洁净室，包括洁净室框架（5），所述洁净室框架（5）底部设置有底板（2），所述洁净室框架（5）侧面设置有与底板（2）边沿连接的墙板（3），所述底板（2）与墙板（3）围绕形成洁净腔室，所述洁净室框架（5）顶部设置有与墙板（3）固定连接的顶板（4），所述墙板（3）上设置有窗户或/和门（34），其特征在于：所述底板（2）与墙板（3）的连接处倾斜设置有防尘导板（7），所述墙板（3）与顶板（4）固定连接处设置有净化口（6），所述净化口（6）与外置真空设备（32）以及净化过滤设备（33）连接，所述墙板（3）和顶板（4）采用双层隔板，双层隔板的两侧隔板（351）之间设置有中空的隔热层（35），所述隔热层（35）还连接有用于导入循环保温气体的外置真空设备（32）以及净化过滤设备（33）。

2.根据权利要求1所述的模块化洁净室，其特征在于：所述隔板（351）采用复合轻质保温墙板制成。

3.根据权利要求2所述的模块化洁净室，其特征在于：所述净化口（6）上设置有网格罩，所述网格罩是能拆洗式，网格罩包括过滤网栅板，所述过滤网栅板上设置有支撑筋隔条。

4.根据权利要求3所述的模块化洁净室，其特征在于：所述过滤网栅板外围设置有用于与净化口（6）上卡接槽卡接的卡接凸块。

5.根据权利要求1所述的模块化洁净室，其特征在于：所述窗户采用双层真空窗（31）。

6.根据权利要求1所述的模块化洁净室，其特征在于：所述模块化洁净室（1）内部的接缝采用灌胶密封，模块化洁净室（1）内部的开关插座开孔敷设的地方均采用灌胶密封。

7.根据权利要求1所述的模块化洁净室，其特征在于：所述模块化洁净室（1）内部还设置有声光报警设备、浮游菌检测设备、温湿度检测设备、二通道同步微粒计数设备，所述声光报警设备、浮游菌检测设备、温湿度检测设备、二通道同步微粒计数设备均与在线监测装置远程连接。

8.根据权利要求7所述的模块化洁净室，其特征在于：所述在线监测装置包括FMS服务器以及与FMS服务器远程连接的远程控制设备。

9.根据权利要求8所述的模块化洁净室，其特征在于：所述在线监测装置控制所述外置真空设备（32）以及净化过滤设备（33）。