[实用新型]一种蒸镀坩埚

说明书

本实用新型涉及显示装置技术领域，特别涉及一种蒸镀坩埚。该蒸镀坩埚包括：埚体，埚体具有用于盛装蒸镀材料的内腔；设置于埚体上的喷嘴，喷嘴具有连通埚体的内腔与外部环境的喷射通道；设置于埚体与喷嘴之间的高导热组件，高导热组件的导热系数高于埚体的导热系数以将埚体的温度传导至喷嘴。上述蒸镀坩埚，设置于埚体与喷嘴之间的高导热组件的导热系数高于埚体，在工作中能够将埚体的温度快速传导到喷嘴，提高喷嘴的温度，防止喷嘴出现堵塞，有效解决了喷嘴堵塞影响蒸镀工艺的问题，同时，高导热组件这种结构还能起到进一步的密封效果。可以看出，该蒸镀坩埚结构简单、实施方便，不但能够能防堵塞还能防泄漏，具有良好的发展前景。

技术领域

本实用新型涉及显示装置技术领域，特别涉及一种蒸镀坩埚。

背景技术

OLED(Organic Light Emitting Display，有机电致发光显示器件)作为新一代主动发光型显示技术，打破了背光+TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶体管)阵列+彩色滤光片的传统结构，相较于LCD具有超薄、响应度高、对比度高、功耗低等优势，为平板显示产业带来革命性的改变。

由于OLED显示器件的有机发光层和阴极需要在高真空环境下蒸镀制作，而一旦蒸镀孔被堵，将使OLED材料无法蒸发，使蒸镀工艺无法继续进行，严重影响生产、实验进度。目前解决堵塞采用以下方法：一种是将坩埚系统降温，打开蒸镀设备腔体，解决堵塞问题并进行相关维护工作后，再关上蒸镀设备腔体，这种方法严重影响生产和实验进度；另一种是在喷嘴附近缠绕电阻丝，通过将电阻丝通电发热并将热量传至喷嘴，预防喷嘴堵塞，但是其采用的电阻丝纯度要求很高，价格也不菲，加之需要配置电源和馈入装置，无疑也增加了设备成本。

实用新型内容

本实用新型公开了一种蒸镀坩埚，用于防止蒸镀坩埚的喷嘴堵塞影响蒸镀工艺进行。

为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

一种蒸镀坩埚，包括：埚体，所述埚体具有用于盛装蒸镀材料的内腔；

设置于所述埚体上的喷嘴，所述喷嘴具有连通所述埚体的内腔与外部环境的喷射通道；

设置于所述埚体与所述喷嘴之间的高导热组件，所述高导热组件的导热系数高于所述埚体的导热系数以将所述埚体的温度传导至所述喷嘴。

上述蒸镀坩埚，设置于埚体与喷嘴之间的高导热组件的导热系数高于埚体，在工作中能够将埚体的温度快速传导到喷嘴，提高喷嘴的温度，防止喷嘴出现堵塞，有效解决了喷嘴堵塞影响蒸镀工艺的问题，同时，高导热组件这种结构还能起到进一步的密封效果。可以看出，该蒸镀坩埚结构简单、实施方便，不但能够能防堵塞还能防泄漏，具有良好的发展前景。

可选地，所述高导热组件包括喷嘴固定板；所述喷嘴固定板的导热系数高于所述埚体的导热系数。

可选地，所述喷嘴为圆柱形或圆锥形，所述喷嘴固定板上开设有用于连通所述喷嘴和所述埚体内腔的固定孔。

可选地，所述喷嘴固定板与所述埚体之间还设置有垫片，所述垫片的导热系数高于所述埚体的导热系数。

可选地，所述垫片沿所述喷嘴固定板与所述埚体的连接边缘设置，所述喷嘴固定板在所述埚体上的投影覆盖所述垫片在所述埚体上的投影。

可选地，所述埚体为四方形或圆柱形，且所述喷嘴的数量为一个或多个。

可选地，所述高导热组件包括垫片，所述垫片的导热系数高于所述埚体的导热系数。

可选地，所述喷嘴在所述埚体上的投影覆盖所述垫片在所述埚体上的投影。

可选地，所述埚体为圆柱体，所述喷嘴为与所述埚体相匹配的圆柱形、圆锥形或圆台形。