[实用新型]一种光学元件中频误差衍射光斑数据集生成装置有效
| 申请号： | 201822043624.8 | 申请日： | 2018-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN209140574U | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 王晶;黄潇;白剑;赵磊;周骧东;侯晶 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | B24B13/00 | 分类号： | B24B13/00;B24B49/12 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 刘静;邱启旺 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 中频误差 衍射光斑 光学元件 数据集生成装置 空间频率 本实用新型 光调制器 快速采集 快速生成 偏振光路 入射光场 位置调节 相位调制 相位分布 相位空间 衍射成像 样品加工 有效数据 数据集 采样 衍射 相机 采集 检测 制作 分析 研究 | ||
1.一种光学元件中频误差衍射光斑数据集生成装置，其特征在于，包括激光器(1)、空间滤波器(2)、扩束镜(3)、线偏振器(4)、检偏器(5)、分束镜(6)、空间光调制器(8)、望远镜成像系统(9)和成像相机(10)；所述激光器(1)、空间滤波器(2)、扩束镜(3)、线偏振器(4)、分束镜(6)沿光路方向依次水平布置，构成入射光路；所述空间光调制器(8)、分束镜(6)、检偏器(5)、望远镜成像系统(9)、成像相机(10)沿垂直于入射光路的方向依次水平布置，构成反射光路；所述线偏振器(4)与检偏器(5)的偏振方向与空间光调制器(8)的液晶单元长轴方向一致；所述空间光调制器(8)的输入为不同中频误差相位分布灰度图；所述成像相机(10)用于接收不同中频误差的衍射光斑分布图。
2.根据权利要求1所述的一种光学元件中频误差衍射光斑数据集生成装置，其特征在于，所述望远镜成像系统(9)由两个共轴的透镜组成。
3.根据权利要求1所述的一种光学元件中频误差衍射光斑数据集生成装置，其特征在于，所述成像相机(10)采用CMOS相机或CCD相机。
4.根据权利要求1所述的一种光学元件中频误差衍射光斑数据集生成装置，其特征在于，所述激光器(1)采用波长632.8nm的氦氖激光器。
5.根据权利要求1所述的一种光学元件中频误差衍射光斑数据集生成装置，其特征在于，所述空间光调制器(8)为反射式结构，其单个像素尺寸为20×20μm2，像素数为1280×768。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江大学，未经浙江大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201822043624.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种光学元件用抛光装置
- 下一篇：一种光伏支架冲剪中心
