[实用新型]流体控制装置

说明书

本实用新型涉及一种流体控制装置，该接头包括第一单元以及第二单元以形成为具特定形状的接头，如此一来，该接头与相邻的接头彼此叠合而具有简易拆卸的效果，本实用新型亦提供包括该接头的流体控制装置。

技术领域

本实用新型涉及一种流体控制装置，尤指一种可简易拆解和组装，以及弹性化模块与高密封性的流体控制装置。

背景技术

流体控制装置为半导体产业中常使用的一种装置，其目的在于供给半导体制造过程中，包括扩散、蚀刻、溅射等过程所需的气体。目前流体控制装置主要包括多种设备，譬如减压阀、压力计、质量流量控制器、气体过滤器、手动阀、第一截止阀、第二截止阀等，并包括用于连接该些流体控制设备的各式接头，以构成通路使流体得以顺利流通。

即便流体控制装置已广泛地应用于半导体产业，然仍有缺陷待改善。举例来说，由于流体控制装置中包括多种设备，故在流体控制装置的拆卸及组装难易度即为一待改善的议题，目前已提出的解决方案包括减少流体控制装置中所使用的组件数量，进而达到组装容易的效果。

譬如，美国专利公开号US20150075660A1的流体控制装置亦提出组装问题的改善方法。其装置中包括将多个流体控制机器串行配置成一列的上层以及用来连接上层的多个流体控制机器的通路块的下层，该些相邻的通路块之间彼此通过倒U字型配管连接，不仅容易并用多列用通路块及单列用通路块，也容易进行行列数的增减。

除此之外，流经流体控制装置的流体之中有些带有腐蚀性，是以，除了需改善流体控制装置的组件抗腐蚀性外、亦得考虑清洁维护的难易。再者，流体在流体控制装置中流动时也常出现泄漏的问题，特别当流动的气体带有危险或人体危害的时候，更是需要仔细避免流体外泄问题。

有鉴于此，亟需开发出一种可改善上述缺陷的新颖性流体控制装置，以满足产业的需求。

实用新型内容

本实用新型主要目的，在于解决现有流体控制装置不易拆解或组装的问题。

本实用新型另一目的，在于改善现有用于流体控制装置的接头中，气体通道容易有颗粒残留且清洗不易的缺点。

本实用新型又一目的，在于降低气体在流体控制装置流动的过程中泄漏的风险。

为了达到上述目的，本实用新型一实施例中提供一种包括至少两个流体流通孔的用于流体控制装置的接头，其包括：一第一单元，具有一上表面、一与该上表面相对的下表面、一设置于该上表面的第一流体流通孔、一设置于该上表面的第二流体流通孔以及一连通该第一流体流通孔与该第二流体流通孔且贯穿于设置该第一单元之中的第一信道；以及一第二单元，设置于该第一单元之下，包括一自该第一单元的该下表面的一部分突出的定位块以及一相邻于该下表面的另一部分与该定位块的第一凹陷部。

为了达到上述目的，本实用新型另一实施例中提供一种包括至少三个流体流通孔的用于流体控制装置的接头，其包括：一第一单元，具有一上表面、一与该上表面相对的下表面、一设置于该上表面的第一流体流通孔、一设置于该上表面的第二流体流通孔、以及一设置于该上表面的第四流体流通孔，该第一流体流通孔与该第四流体流通孔之间设置有一第一通道以连通该第一流体流通孔与该第四流体流通孔；一延伸单元，该延伸单元自该第一单元的一侧端朝外突出，该延伸单元包括一第三流体流通孔，且该第三流体流通孔和该第二流体流通孔之间设置有一第二通道以连通该第二流体流通孔与该第三流体流通孔；以及一第二单元，设置于该第一单元之下，包括一自该第一单元的该下表面的一部分突出的定位块以及一相邻于该下表面的另一部分与该定位块的第一凹陷部。