[实用新型]精密驱动位移测量装置

说明书

本实用新型提供了一种精密驱动位移测量装置，包含尺蠖驱动器与测量元件，所述尺蠖驱动器包含驱动壳体与输出件，驱动壳体上设置有滑移开口，所述输出件滑动安装在滑移开口中；所述驱动壳体上还设置有箝位件与驱动件；所述测量元件安装在以下任一个或任多个位置上：箝位件、驱动件、输出件。本实用新型采用的尺蠖驱动器能够在外形尺寸较小的情况下，实现平稳、大行程、高输出的直线驱动，通过测量元件还能对输出位移进行准确测量。

技术领域

本实用新型涉及位移驱动、测量领域，具体地，涉及一种精密驱动位移测量装置，特别是一种尺蠖驱动位移测量装置。

背景技术

自传感驱动器是指可自感知驱动位移的驱动器。现有的专利，例如授权号为CN102620031B，授权日为2013年07月31日，名称为《一种双相对置超磁致伸缩自传感驱动器》的中国专利，提供了一种磁致伸缩自传感驱动器，该自传感驱动器，将用两个磁致伸缩材料对置，进行驱动与传感一体化设计。但是这些专利申请提出的自传感驱动器，结构复杂，检测电路繁琐，精度也不是很高。

实用新型内容

针对现有技术中的缺陷，本实用新型的目的是提供一种精密驱动位移测量装置。

根据本实用新型提供的精密驱动位移测量装置，包含尺蠖驱动器与测量元件，所述尺蠖驱动器包含驱动壳体与输出件，驱动壳体上设置有滑移开口，所述输出件滑动安装在滑移开口中；

所述驱动壳体上还设置有箝位件与驱动件；所述测量元件安装在以下任一个或任多个位置上：箝位件、驱动件、输出件。

优选地，所述驱动件包含第一驱动槽与第二驱动槽，第一驱动槽与第二驱动槽的槽口相对设置；

所述箝位件包含第一箝位部、第二箝位部；沿驱动壳体的轴向方向上，第一箝位部、第一驱动槽、第二驱动槽、第二箝位部依次布置。

优选地，所述箝位件包含箝位槽，第一箝位部、第二箝位部分别形成第一箝位槽、第二箝位槽；

箝位件与驱动件中均安装有驱动形变件；

所述驱动形变件包含以下任一种或任多种结构：磁致形变件、电致形变件、热敏感材料件、流体形变件。

优选地，所述输出件包含输出直杆，输出直杆包含测值部；

测值部包含测值导电材料件，测值导电材料件配设有电阻测量结构；或者，

测值部包含光栅结构，光栅结构配设有光栅传感器。

优选地，测值导电材料件位于输出直杆沿轴向方向的一端；或者，

所述输出直杆上设置有测值凹槽，所述测值凹槽沿输出直杆长度延伸方向延伸，所述测值导电材料件安装在测值凹槽中。

优选地，测量元件包含应变传感器和/或光纤；

所述测量元件设置在第一驱动槽和/或第二驱动槽中；或者，

驱动壳体上设置有应变槽，所述应变槽与测量元件相匹配。

优选地，第一驱动槽与第二驱动槽均安装有应变传感器，多个应变传感器通过设置的电桥电路连接。

优选地，驱动壳体上设置有箝位孔，箝位孔中设置有箝位形变件，第一箝位部、第二箝位部分别形成第一箝位形变件、第二箝位形变件；

所述箝位形变件包含以下任一种或任多种结构：磁致形变件、电致形变件、热敏感材料件、流体形变件。

优选地，所述箝位孔中还设置有压紧螺盖；

压紧螺盖将箝位形变件预压紧在输出直杆上。

优选地，所述电致形变件包含压电元件，压电元件包含以下任一种或任多种材料件：压电陶瓷材料件、压电晶体材料件、有机压电材料件；