[实用新型]一种光刻机的自动上板装置有效
| 申请号： | 201822027520.8 | 申请日： | 2018-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN209044304U | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 王泽明;邓超略;黄文斌;高尊虎 | 申请（专利权）人： | 深圳市印之明科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 东莞市神州众达专利商标事务所(普通合伙) 44251 | 代理人： | 刘汉民 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区西乡*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 传送带 取料机构 放料架 纠正组件 驱动装置 吸附机构 纠正 驱动连接 上板装置 光刻机 本实用新型 传送带表面 工作效率 向上移动 向下移动 废板 平齐 上板 | ||
【权利要求书】：
1.一种光刻机的自动上板装置，其特征在于：包括取料机构、传送带、放料架、吸附机构和两纠正组件，所述取料机构设于放料架和传送带之间，所述取料机构与吸附机构驱动连接，所述取料机构带动吸附机构在放料架和传送带上方往复移动，所述两纠正组件设于传送带远离放料架的一端的上方，所述纠正组件包括驱动装置和纠正柱，所述两纠正柱相互平齐，所述驱动装置设置在传送带上方，所述驱动装置和纠正柱驱动连接，并带动纠正柱向下移动设于传送带表面或带动纠正柱向上移动设于传送带上方。
2.根据权利要求1所述的一种光刻机的自动上板装置，其特征在于：所述吸附机构包括真空吸盘、固定支架，所述真空吸盘设置在固定支架底部，所述取料机构的输出端与固定支架的一端连接。
3.根据权利要求2所述的一种光刻机的自动上板装置，其特征在于：所述取料机构包括支撑部、第一电机，所述第一电机设于支撑部顶端，所述第一电机的输出轴与水平面垂直，所述第一电机的输出轴与固定支架的一端连接，所述第一电机带动吸附机构以第一电机的输出轴为圆心转动。
4.根据权利要求1所述的一种光刻机的自动上板装置，其特征在于：所述驱动装置为步进电机，所述步进电机的输出轴连接有滚珠丝杆，纠正柱的一端固定连接在滚珠丝杆的螺母上，通过螺母带动纠正柱相对于传送带表面上下移动。
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