[实用新型]一种制备碳碳复合产品的装置有效
| 申请号： | 201822025473.3 | 申请日： | 2018-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN209024639U | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 李海成;周国平 | 申请（专利权）人： | 保山隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/24 | 分类号： | C23C16/24;C23C16/455;C23C16/54 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 李博 |
| 地址： | 678014 云南*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 封气盘 气筒 引气管 本实用新型 碳纤维织物 复合产品 承孔 碳碳 制备 沉积效率 间隙配合 气体形成 成品率 狭缝流 装炉量 单炉 堆叠 同轴 沉积 生产成本 | ||
1.一种制备碳碳复合产品的装置，其特征在于，所述装置包括下封气盘（1）、限气筒（2）、引气管（3）及上封气盘（4），其中，
所述下封气盘（1）位于所述限气筒（2）的底部，所述上封气盘（4）位于所述限气筒（2）的顶部，所述上封气盘（4）的中心设有承孔（41），所述引气管（3）位于所述限气筒（2）内部，所述引气管（3）的顶部与所述上封气盘（4）的承孔（41）间隙配合；所述引气管（3）上设置若干气孔；
若干碳纤维织物（5）可堆叠于所述限气筒（2）内部，与所述下封气盘（1）、限气筒（2）、引气管（3）及上封气盘（4）同轴。
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述下封气盘（1）为圆盘状，所述下封气盘（1）的边缘设置有若干均匀分布的气孔，中心设有一个通孔，与所述引气管（3）的底部间隙配合。
3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述下封气盘（1）厚度大于100毫米mm，重量大于100千克kg。
4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述限气筒（2）为圆筒状，内部中空，两端开口直径一致，所述限气筒（2）的底端与所述下封气盘（1）间隙配合。
5.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述限气筒（2）的管壁厚度大于或等于8mm。
6.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述引气管（3）为管状，所述若干气孔均匀设置在所述引气管（3）上。
7.如权利要求6所述的装置，其特征在于，所述引气管（3）的管壁厚度大于或等于7mm。
8.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述上封气盘（4）为圆盘状，所述上封气盘（4）边缘设置有若干均匀分布的气孔。
9.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述碳纤维织物（5）为筒状，内部中空结构为碗状，顶部开口直径小于底部开口直径。
10.如权利要求9所述的装置，其特征在于，若干所述碳纤维织物（5）堆叠形状为顶部朝向所述上封气盘（4）放置。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
