[实用新型]一种高效晶硅太阳能电池有效
申请号: | 201822014493.0 | 申请日: | 2018-12-03 |
公开(公告)号: | CN209183557U | 公开(公告)日: | 2019-07-30 |
发明(设计)人: | 曹振;刘林华;宁纪林;武婷婷;刘珊珊;任现坤;姜言森 | 申请(专利权)人: | 山东力诺太阳能电力股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/0216 | 分类号: | H01L31/0216;H01L31/0248;H01L31/18 |
代理公司: | 济南舜昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 37249 | 代理人: | 侯绪军 |
地址: | 250000 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅衬底 前表面 二氧化硅钝化层 晶硅太阳能电池 二氧化硅层 氮化硅减反射膜 依次设置 背表面 发射区 铝背场 穿过 背面银电极 本实用新型 载流子复合 正面银电极 电池效率 开路电压 浓硝酸 正表面 | ||
本实用新型公开了一种高效晶硅太阳能电池,包括硅衬底,硅衬底前表面由内到外依次设置有发射区、前表面二氧化硅层和氮化硅减反射膜,设置于硅衬底正表面表层的正面银电极依次穿过氮化硅减反射膜、前表面二氧化硅层与发射区接触,硅衬底背表面由内到外依次设置有二氧化硅钝化层和铝背场,设置于硅衬底背表面表层的背面银电极依次穿过铝背场、二氧化硅钝化层和硅衬底接触;所述的前表面二氧化硅层和二氧化硅钝化层同时通过浓硝酸氧化而成,该结构减少了目前传统晶硅太阳能电池的表面的载流子复合,提高开路电压,进而提高电池效率。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池技术领域,具体涉及一种高效晶硅太阳能电池。
背景技术
目前,太阳能发电技术的发展越来越迅速,传统的晶硅太阳能电池基于P型硅衬底,制绒形成表面绒面结构,在其正面磷扩散形成PN结,并沉积氮化硅减反射膜,背面印刷银电极、铝背场,正面印刷银栅线,形成传统的晶硅太阳能电池。目前产业化的传统晶体硅太阳能电池生产的表面复合仍然是制约其效率提升的因素,提高晶体硅太阳能电池的开路电压一直是技术突破的关键。近年来人们致力于开发新型电池结构的高效电池,其中选择性发射极、表面钝化是广受关注的。现在工业化生产双面氧化的晶硅太阳能电池由于受到技术限制,很难进行,因此,目前市面上仍然是以单面氧化的太阳能电池为主。
发明内容
本实用新型就是针对上述存在的缺陷而提供一种高效晶硅太阳能电池,减少了目前传统晶硅太阳能电池的表面的载流子复合,提高开路电压,进而提高电池效率;改善传统方法制备的单面氧化晶硅太阳能电池,以使得在工业化生产中得到应用。
本实用新型的一种高效晶硅太阳能电池技术方案为,包括硅衬底,硅衬底前表面由内到外依次设置有发射区、前表面二氧化硅层和氮化硅减反射膜,设置于硅衬底正表面表层的正面银电极依次穿过氮化硅减反射膜、前表面二氧化硅层与发射区接触,硅衬底背表面由内到外依次设置有二氧化硅钝化层和铝背场,设置于硅衬底背表面表层的背面银电极依次穿过铝背场、二氧化硅钝化层和硅衬底接触;所述的前表面二氧化硅层和二氧化硅钝化层同时通过浓硝酸氧化而成。
所述二氧化硅钝化层为超薄二氧化硅层,厚度为0.6nm-2nm。
优选的,所述二氧化硅钝化层为超薄二氧化硅层,厚度为1.2nm。
所述前表面二氧化硅层为超薄二氧化硅层,厚度为0.6-2nm。
优选的,所述前表面二氧化硅层厚度为1.2nm。
所述硅衬底为P型或N型晶体硅。
所述氮化硅减反射膜厚度为80-85nm。
为达到上述目的,本实用新型的高效晶硅太阳能电池采用以下方法制备:
(1) 对硅片进行清洗、制绒、扩散、刻蚀、洗磷;
(2) 将洗磷后烘干的硅片浸入浓硝酸溶液,利用浓硝酸的氧化性,在硅片的正反两面反应生成超薄二氧化硅层;
(3) 用去离子水清洗步骤(2)得到的电池片,然后甩干;
(4) 对步骤 (3) 的电池片进行镀减反射膜、丝网印刷电极、烘干、烧结,得到高效晶硅太阳能电池。
优选地,步骤 (2) 中浓硝酸的质量浓度为60~70%,硅片浸泡时间4~40min,浸泡温度15~60℃。
本实用新型的有益效果是:提供一种高效晶硅太阳能电池结构,在硅衬底及铝背场之间设有一层二氧化硅钝化层,提供背场钝化效果,降低晶硅太阳能电池的背表面的载流子复合,增加了背反射,使电池内部产生的光生电子数目增加,提高开路电压;另外,前表面二氧化硅层的存在进一步饱和了一部分悬挂键,降低了界面复合,更进一步提高了太阳能电池的光电转换效率。
附图说明:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的