[实用新型]成膜装置

权利要求书

1.一种成膜装置，包括：

真空容器，所述真空容器收容成膜材料并执行成膜作业；以及

观察窗，所述观察窗设于所述真空容器的壁面；

所述成膜装置的特征在于，

所述观察窗具有：

观察板，所述观察板由透明材料形成；

凸缘部；

轴部，所述轴部与所述凸缘部相连，穿过所述观察板，并且设有第一螺纹；以及

支承部件，所述支承部件拧合于所述第一螺纹上，从而将所述观察板夹持在所述凸缘部和所述支承部件之间，

其中，在所述轴部设有台阶部，所述台阶部位于所述第一螺纹与所述观察板之间，用于在轴向上对所述支承部件进行限位。

2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述凸缘部的朝向所述观察板的一侧设有用于容纳第一密封件的环形凹槽。

3.根据权利要求2所述的成膜装置，其特征在于，

所述环形凹槽的径向内侧壁与所述轴部的外侧壁平齐。

4.根据权利要求2所述的成膜装置，其特征在于，

所述第一密封件为O型环，当所述支承部件拧合于所述第一螺纹上时，所述O型环的上下方向上的尺寸大于所述环形凹槽的深度。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的成膜装置，其特征在于，

所述支承部件与所述观察板之间设置有弹性或韧性垫圈。

6.根据权利要求1-4中任一项所述的成膜装置，其特征在于，

所述轴部具有为了使操作轴沿轴向贯通而设置的第一中空部，

所述操作轴穿过所述轴部，且所述操作轴的内侧端突出于所述轴部的内侧端。

7.根据权利要求6所述的成膜装置，其特征在于，

所述操作轴的内侧端安装有挡板，用于遮挡所述观察板的内侧面，以防止成膜材料附着所述内侧面。

8.根据权利要求7所述的成膜装置，其特征在于，

所述操作轴包括第一轴和第二轴；

所述第一轴可旋转地穿过所述第一中空部并突出于所述轴部的内侧端；

所述第一轴具有沿轴向设置的第二中空部，所述第二轴可旋转地穿过所述第二中空部并突出于所述第一轴的内侧端；

所述第一轴的内侧端安装有第一挡板，所述第二轴的内侧端安装有第二挡板，所述第一挡板和所述第二挡板用于共同实现对所述观察板的遮挡。

9.根据权利要求8所述的成膜装置，其特征在于，

所述第一挡板及所述第二挡板分别为半圆形挡板。

10.根据权利要求8所述的成膜装置，其特征在于，

所述第一轴的外侧端设置有第一操作手柄，用于旋转所述第一轴；和/或，所述第二轴的外侧端设置有第二操作手柄，用于旋转所述第二轴。

11.根据权利要求1-4中任一项所述的成膜装置，其特征在于，

所述观察板包括叠置的主板和防附着板，其中，所述防附着板朝向所述真空容器的内侧。