[实用新型]一种设置防漏硅内衬管的单晶炉抽空管道有效
| 申请号： | 201822005730.7 | 申请日： | 2018-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN209537672U | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 李德建;申朝伦;张志耀 | 申请（专利权）人： | 邢台晶龙新能源有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 李冉 |
| 地址： | 054000 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 内衬管 防漏 抽空管道 本实用新型 碳复合材料 单晶炉 限位环 单晶炉炉体 热膨胀系数 财产损失 耐高温性 内壁贴合 一端设置 超强 硅液 外凸 限位 破损 收缩 损伤 电器 安全 | ||
【权利要求书】：
1.一种设置防漏硅内衬管的单晶炉抽空管道，其特征在于，包括抽空管道和防漏硅内衬管，所述防漏硅内衬管插入所述抽空管道内，并与所述抽空管道的内壁贴合；所述防漏硅内衬管为碳-碳复合材料制成的内衬管，并且所述防漏硅内衬管一端设置有外凸的限位环；所述防漏硅内衬管插入所述抽空管道与单晶炉炉体连接的一端内，并通过所述限位环进行限位。
2.根据权利要求1所述的一种设置防漏硅内衬管的单晶炉抽空管道，其特征在于，所述防漏硅内衬管的长度小于所述抽空管道的长度。
3.根据权利要求2所述的一种设置防漏硅内衬管的单晶炉抽空管道，其特征在于，所述防漏硅内衬管长度大于400mm。
4.根据权利要求1所述的一种设置防漏硅内衬管的单晶炉抽空管道，其特征在于，所述限位环的直径大于100mm。
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