[实用新型]一种多线切割机用主轴以及多线切割机

说明书

本实用新型是针对现有技术所需安装空间大、安装较为复杂的问题提供一种多线切割机用主轴以及多线切割机，主轴包括连接轴、套设在连接轴外的主轴芯以及管型的主轴体，主轴体套设在主轴芯外且与主轴芯转动连接，主轴体、主轴芯以及连接轴同轴，连接轴一端为输入端另一端为输出端，输入端与输出端位于主轴芯外，输出端与主轴体通过连接件固接，主轴芯的一端为固定端另一端为自由端，多线切割机包括主背板、至少两个主轴、套设在主轴上的罗拉以及驱动罗拉转动的驱动电机，固定端与主背板固接，罗拉套设在主轴体上且与主轴体过盈配合，采用本实用新型，安装空间小且安装简便。

技术领域

本实用新型涉及一种切割设备，特别涉及一种多线切割机用主轴以及多线切割机。

背景技术

多线切割机是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。多线切割机包括主背板、至少两个转动连接在主背板上的主轴、驱动主轴转动的驱动装置、与主轴同轴固接的罗拉、其中金属丝缠绕在两个罗拉之间，在两个罗拉之间形成多条平行切割线。多线切割机还包括带动被加工件移动靠近或者远离切割线的工作台以及收放金属丝的收放线装置。如图1所示，常见的结构驱动装置采用电机50，电机50和罗拉30分别位于主背板10的两侧，主轴20与主背板10转动连接，主轴20的两端分别位于主背板10的两侧且分别与电机50的输出轴以及罗拉30固定相连。

这样的结构，在安装主轴时需要在主背板的两侧进行操作保证主轴的轴向固定，安装所需要的空间较大；主轴与罗拉的连接点位于罗拉内部，安装较为复杂、不方便,另一方面，由于罗拉悬臂安装在主轴上，因此罗拉在金属丝的拉力作用下易变形，因此需要做得非常厚重，这使得主轴的载荷增大，易造成主轴轴头变形，使得罗拉产生径向跳动。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术所需安装空间大、安装较为复杂的问题提供一种多线切割机用主轴以及多线切割机，所需安装空间小且安装简便。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种多线切割机用主轴，包括连接轴、套设在连接轴外的主轴芯以及管型的主轴体，主轴体套设在主轴芯外且与主轴芯转动连接，主轴体、主轴芯以及连接轴同轴；连接轴一端为输入端另一端为输出端，输入端与输出端位于主轴芯外，输出端与主轴体通过连接件固接；主轴芯的一端为固定端另一端为自由端，固定端位于主轴体外，且固定端与输入端位于主轴体的同一端；

连接件包括与输入端固接的连接板、套设在输入端上的环形前压盖以及螺栓，连接板、前压盖与主轴体通过螺栓固接；连接板位于前压盖与主轴体之间，连接板的直径不大于主轴体的外径，前压盖的外径大于主轴体的外径；

固定端上设有法兰盘，法兰盘上开有与均匀圆周分布在主轴芯周围的法兰孔；

主轴芯和主轴体之间设置有轴承组一和轴承组二，轴承组一和轴承组二分别包括若干并排设置的轴承；轴承组一和轴承组二分别位于主轴体内侧的两端；

主轴体与固定端密封连接。

一种多线切割机，包括主背板、至少两个主轴、套设在主轴上的罗拉以及驱动罗拉转动的驱动电机，主轴为上述中任意一项的多线切割机用主轴；固定端与主背板固接，罗拉套设在主轴体上且与主轴体过盈配合，驱动电机与连接轴的输入端相连；

还包括一眼镜板，两个连接轴的输出端分别与眼镜板固接；

眼镜板上固接有两个轴承套，输出端的端头位于轴承套内；轴承套与连接轴之间设置有轴承组三；

眼镜板上开有与轴承套相适配的固定通孔，轴承套位于固定通孔内；固定通孔的周壁上开有贯穿眼镜板的开口，开口沿周壁的母线设置；眼镜板上开有垂直与开口侧壁贯穿开口的连接孔，连接孔内插设有与螺母配合的螺栓。