[实用新型]一种双列直插式真空矩阵键合夹具有效

专利信息
申请号: 201821989876.3 申请日: 2018-11-29
公开(公告)号: CN209150074U 公开(公告)日: 2019-07-23
发明(设计)人: 张超超;聂平建;周东;陈潇;谌帅业;蔡景洋;商登辉;李阳;房迪 申请(专利权)人: 贵州振华风光半导体有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/67
代理公司: 贵阳中工知识产权代理事务所 52106 代理人: 刘安宁
地址: 550000 贵*** 国省代码: 贵州;52
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摘要:
搜索关键词: 管壳 夹具 矩阵 双列直插式 键合夹具 真空吸力 双列直插式集成电路 双列直插式外壳 本实用新型 产品外壳 工作效率 键合平台 矩阵方式 摩擦磨损 双列直插 制作工艺 自动键合 插入管 矩形键 镊子夹 平整度 限位块 真空孔 夹取 键合 排布 取放 吸住 限位 引脚 平行 平整 制造
【权利要求书】:

1.一种双列直插式真空矩阵键合夹具,其特征在于它有一个矩形键合平台(6),在矩形键合平台(6)上按照矩阵方式排布若干管壳台(1),每个管壳台(1)中心开有真空孔(2),两侧平行开有双列直插槽(3);每个管壳台(1)的两端分别设有两块限位块(4),其中一块开有夹取口(5)。

2.按照权利要求1所述的双列直插式真空矩阵键合夹具,其特征在于所述矩形键合平台(6)的底部是一个空腔体,有通道与真空泵连接。

3.按照权利要求1所述的双列直插式真空矩阵键合夹具,其特征在于所述管壳台(1)的形状、尺寸与拟键合的集成电路管壳产品相匹配。

4.按照权利要求1所述的双列直插式真空矩阵键合夹具,其特征在于所述双列直插槽(3)的深度长于产品引脚的长度。

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