[实用新型]一种垂直腔面发射激光器

说明书

本实用新型公开了一种垂直腔面发射激光器，包括第二反射层、发光结构、第一反射层、第一键合层、第二键合层、第二衬底、第一绝缘层、第三电极、第四电极、第二绝缘层、第一焊盘和第四焊盘。本实用新型通过第三电极和第四电极与第一电极和第二电极导电连接，以将第一电极和第二电极引伸出来，再与第一焊盘和第二焊盘连接，因此通过焊盘可以直接将激光器焊接在PCB板上，不需要打线，此外，还通过焊盘将激光器的热量传导到PCB板上，从而起到良好的散热效果。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种垂直腔面发射激光器。

背景技术

垂直腔面发射激光器(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser，简称VCSEL)是一种半导体，其激光垂直于顶面射出。

垂直腔面发射激光器是近几年应用较广的一种新型光源，具有如下优点：(1)谐振腔小，易产生微腔效应，低阈值激射；(2)谐振腔比较短，因而纵模间隔很大，动态调制频率高；(3)有源区截面呈圆对称型，光束方向性好，易耦合；(4)出光方向垂直于衬底平面，适合于并行光互连和信息处理；(5)器件体积小，可高密度地形成二维阵列激光器；(6)单片外延生长形成，便于对生长材料的质量检查与筛选，成品率高。

现有垂直腔面发射激光器的封装工艺与LED封装工艺相近，都需要使用打线工艺，工艺繁琐，且成品通过金线散热效果差，使激光器的使用功率受限。

本实用新型提出一种新的垂直腔面发射激光器制作工艺，可直接焊接在PCB板上，封装工艺简单，通过焊盘散热，效果更好，可提升激光器使用功率。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题在于，提供一种垂直腔面发射激光器，不需要打线，可直接焊接在PCB板上，且散热效果好。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种垂直腔面发射激光器，包括：

第二反射层；

设置在第二反射层上的发光结构，所述发光结构包括中心结构、裸露区域和第一电极，所述中心结构包括依次设置的第一半导体层、有源层、第二半导体层、电流阻挡层、透明导电层和第二电极，所述裸露区域刻蚀至第一半导体层，所述第一电极设置在第一半导体层上并围绕在中心结构的四周，所述第一电极与中心结构相互绝缘；

依次设置在发光结构上的第一反射层、第一键合层、第二键合层、第二衬底和第一绝缘层，且所述第一绝缘层延伸至第一反射层上；

设置在第一绝缘层上的第三电极和第四电极，所述第三电极贯穿第一绝缘层并延伸至第一电极上，所述第四电极贯穿第一绝缘层并延伸至第二电极上，第三电极和第四电极绝缘；

设置在第三电极、第四电极和第二衬底上的第二绝缘层；

设置在第二绝缘层上的第一焊盘和第二焊盘，第一焊盘延与第三电极连接，第二焊盘与第四电极连接，第一焊盘和第二焊盘绝缘。

作为上述方案的改进，所述第二反射层的反射率低于第一反射层的反射率。

作为上述方案的改进，所述第二反射层的反射率比第一反射层的反射率低1-5％。

作为上述方案的改进，所述第一反射层和第二反射层由反射绝缘材料制成。

作为上述方案的改进，所述第一电极、第二电极、第三电极和第四电极均由导电金属制成。

作为上述方案的改进，所述第一焊盘和第二焊盘均由Ni、Au、Sn或AuSn制成。

实施本实用新型，具有如下有益效果：