[实用新型]一种双探针桌面台式扫描电镜有效
| 申请号： | 201821973921.6 | 申请日： | 2018-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN209183500U | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 皮晓宇 | 申请（专利权）人： | 上海欧波同仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/02;H01J37/20;G01N23/2251 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200433 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 螺栓连接 扫描电镜 样品室 电子光学镜筒 本实用新型 电动导轨 底座盒 隔离板 双探针 主壳体 桌面 扫描 主壳体内部 比对样品 两侧内壁 扫描样品 使用寿命 载物台 导块 壳体 分隔 应用 | ||
1.一种双探针桌面台式扫描电镜，包括底座盒(1)，其特征在于，所述底座盒(1)的顶部通过螺栓连接有主壳体(3)，且主壳体(3)的顶部通过螺栓连接有两个电子光学镜筒(12)，所述主壳体(3)的内部通过螺栓连接有隔离板(5)，且主壳体(3)内部通过隔离板(5)分隔为两个样品室，两个所述样品室的两侧内壁均通过螺栓连接有电动导轨(4)，且相邻的两个电动导轨(4)之间通过导块连接有同一个载物台(15)，两个所述载物台(15)的顶部均放置有试样载片(14)，两个所述电子光学镜筒(12)的内部顶端均通过螺栓连接有电子枪(11)，且两个电子光学镜筒(12)的内部上方均嵌装有聚光镜组(10)，两个所述电子光学镜筒(12)的内部底端均嵌装有物镜组(7)，且两个电子光学镜筒(12)的内部下方均嵌装有扫描线圈(8)，两个所述电子光学镜筒(12)的外壁内部均嵌装有螺旋状分布的散热盘管(13)，且两个电子光学镜筒(12)的底端均通过螺栓连接有电子束管(6)，所述底座盒(1)的内部通过螺栓连接有真空机(2)，且真空机(2)的入口端通过螺栓连接有三通真空阀(16)。
2.根据权利要求1所述的一种双探针桌面台式扫描电镜，其特征在于，两个所述电子光学镜筒(12)的内部中间位置嵌装有消象散器(9)，且消象散器(9)位于聚光镜组(10)与扫描线圈(8)之间。
3.根据权利要求2所述的一种双探针桌面台式扫描电镜，其特征在于，所述主壳体(3)的一侧开设有两个矩形开口，且两个矩形开口的内部均嵌装有样品室封板(17)。
4.根据权利要求3所述的一种双探针桌面台式扫描电镜，其特征在于，所述主壳体(3)的顶部一端通过螺栓连接有两个散热水箱(22)，且两个散热水箱(22)的顶端均通过螺栓连接有冷却水泵(21)。
5.根据权利要求4所述的一种双探针桌面台式扫描电镜，其特征在于，所述隔离板(5)远离样品室的一侧通过螺栓连接有两个光学倍增管(19)，且两个光学倍增管(19)的入口端与两个试样载片(14)相适配。
6.根据权利要求5所述的一种双探针桌面台式扫描电镜，其特征在于，所述主壳体(3)内部的一侧通过螺栓连接有视频放大器(20)和扫描发生器(18)。
7.根据权利要求6所述的一种双探针桌面台式扫描电镜，其特征在于，所述真空机(2)、三通真空阀(16)和冷却水泵(21)通过导线连接有开关。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海欧波同仪器有限公司，未经上海欧波同仪器有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821973921.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种可调式扫描电子显微镜
- 下一篇：基于电感耦合等离子体的单晶材料抛光装置
