[实用新型]气体混合装置和镀膜系统

说明书

本公开涉及气体混合技术领域，提供了一种气体混合装置和镀膜系统，包括具有进气孔和出气孔的腔体，腔体内设置有多个隔板以将腔体分隔为多个混合区，每个隔板上开设有通气孔，且相邻两个隔板上的通气孔相错设置，由进气孔进入到腔体内的气体依次流经各个混合区并从出气孔排出。这样，通气孔的相错设置，使得穿过相邻两层隔板中上一个隔板上的通气孔的气体需要在混合区内进行混合交叉的曲线运动才能穿过下一个隔板上的通气孔而进入下一个混合区，即每个隔板都可以视作一个气体分布源，这样气体每穿过一个隔板就要进行一次气体再分布及充分混合，气体经过多个混合区从出气孔排出时，已经过充分混合。

技术领域

本公开涉及气体混合技术领域，具体地，涉及一种气体混合装置和镀膜系统。

背景技术

在工业生产中，为了能够满足工艺需要，经常需要将两种或者多种气体均匀混合在一起。目前，会使用气体质量流量计直接通过管道将气体通入工艺腔室中，或者通入气体混合装置中再进入工艺腔室中，但现有气体混合装置结构复杂，混合不均匀不充分，有流动死角，存在不同程度的气体偏流现象，而管道直通不仅混合不均匀，且存在气压波动，气体混合的均匀性往往达不到生产要求，影响产品质量。

实用新型内容

本公开的目的是提供一种气体混合装置，该气体混合装置可以提高气体混合均匀性，缓冲混合气体的气压波动。

本公开的另一个目的是提供一种镀膜系统，该镀膜系统包括本公开提供的气体混合装置。

为了实现上述目的，本公开提供一种气体混合装置，包括具有进气孔和出气孔的腔体，所述腔体内设置有多个隔板以将所述腔体分隔为多个混合区，每个所述隔板上开设有通气孔，且相邻两个所述隔板上的所述通气孔相错设置，由所述进气孔进入到所述腔体内的气体依次流经各个所述混合区并从所述出气孔排出。

可选地，多个所述混合区上下排布，所述出气孔设置在所述腔体的顶部，以使气体自下至上流动。

可选地，所述气体混合装置还包括密封连接在所述进气孔处的进气管和密封连接在所述出气孔处的出气管，所述进气管设置在所述腔体的顶部，所述进气管依次穿过多个所述隔板并伸入到最下方的所述混合区中。

可选地，所述进气管与被其穿过的所述隔板过盈配合。

可选地，所述气体混合装置还包括密封连接在所述进气孔处的进气管和密封连接在所述出气孔处的出气管，所述进气管的位于所述腔体外的部分通过三通接头与进气分管相连接，以向所述腔体中通入多种气体。

可选地，所述腔体的内壁开设有凹槽，所述隔板伸入到所述凹槽中，并密封连接。

可选地，所述隔板内部铺设有热管换热器，以调节待混合的气体的温度。

可选地，所述隔板上开设有多圈所述通气孔。

可选地，在气体依次流过多个所述混合区的方向上，多个所述隔板上的所述通气孔的圈数渐增。

根据本公开的第二个方面，提供一种镀膜系统，包括具有镀膜室的镀膜机，所述镀膜机连接有以上所述的气体混合装置，以使镀膜用气体经由所述气体混合装置后流入所述镀膜室。

通过上述技术方案，通气孔的相错设置，使得穿过上一个隔板上的通气孔的气体需要在混合区内进行混合交叉的曲线运动才能穿过下一个隔板上的通气孔而进入下一个混合区，这样气体每穿过一个隔板就要进行一次充分混合，气体经过多个混合区从出气孔排出时，已经过充分混合。

本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：