[实用新型]一种除膜装置有效
申请号: | 201821969508.2 | 申请日: | 2018-11-27 |
公开(公告)号: | CN209045501U | 公开(公告)日: | 2019-06-28 |
发明(设计)人: | 葛建云 | 申请(专利权)人: | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李海建 |
地址: | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 衬底 侧边接触 滚刷体 膜层 盘刷 除膜装置 按压力 清洁刷 施加 刷毛 平面垂直 清洗效率 驱动件 按压 切线 本实用新型 分散作用 转动平面 转动轴线 按压盘 对膜层 上端面 侧边 减小 刷盘 平行 转动 清洁 | ||
本实用新型公开了一种除膜装置,包括清洁刷和驱动件,清洁刷对膜层进行清理,驱动件为清洁刷提供清洁动力。针对现有技术中盘刷的刷毛设置于刷盘的上端面,盘刷的转动平面与衬底所在的平面垂直,按压盘刷使盘刷的刷毛与衬底的侧边接触,施加于盘刷的按压力在面积较大的盘刷表面进行分散,导致施加于膜层的摩擦力减小,膜层的清洗效率低的问题;本方案提供的除膜装置,滚刷体的转动轴线与衬底所在的平面垂直,滚刷体的转动圆周与衬底的侧边接触的位置的切线与衬底的侧边平行,按压滚刷体使刷毛与衬底的侧边接触,施加的按压力全部集中于滚刷体与衬底的侧边接触的部分,对按压力的分散作用小,从而增大了施加于膜层的摩擦力,提高了膜层的清洗效率。
技术领域
本实用新型涉及新能源技术领域,特别涉及一种除膜装置。
背景技术
在薄膜太阳能电池制备过程中,化学水浴镀膜(CBD)设备对衬底进行硫化镉(CdS)镀膜后,会在衬底的四个侧边附着形成膜层。附着于衬底的四个侧边的膜层,需要清洗去除。
现有技术中去除衬底的四个侧边的膜层的方法是利用盘刷打磨衬底的四个侧边,其中,盘刷的设置刷毛的一面与衬底相垂直,盘刷的刷毛长近2cm,刷毛的直径约为1200目。在膜层的去除过程中,由于盘刷的轴线与衬底相平行,盘刷的刷毛与衬底的接触面积小,且盘刷的刷毛与衬底接触产生的摩擦力小,导致膜层去除不彻底,去除率低。
因此,如何提高膜层的去除率,成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型提供了一种除膜装置,以提高膜层的去除率。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种除膜装置,所述除膜装置为用于去除CBD工艺中在衬底的侧边上形成的膜层的除膜装置,
所述除膜装置包括清洁刷和驱动所述清洁刷转动的驱动件,所述清洁刷包括:
滚刷体,所述滚刷体与所述驱动件连接,所述滚刷体的转动轴线与所述衬底所在的平面垂直;
刷毛,所述刷毛的一端与所述滚刷体固定连接,所述刷毛的另一端为自由端,所述自由端与所述衬底的侧边接触。
优选的,在上述除膜装置中,所述刷毛为碳化硅磨料丝刷毛。
优选的,在上述除膜装置中,所述刷毛的长度为0.8-1.5cm。
优选的,在上述除膜装置中,所述刷毛的直径为500-700目,相邻所述刷毛之间的距离为0.1-0.3mm。
优选的,在上述除膜装置中,所述滚刷体为中空圆柱滚刷体,所述滚刷体沿其转动轴线的长度大于所述衬底的厚度。
优选的,在上述除膜装置中,所述滚刷体为聚氯乙烯滚刷体或不锈钢滚刷体。
优选的,在上述除膜装置中,还包括压紧组件,所述压紧组件用于调节所述清洁刷施加在所述衬底的侧边上的压紧力的。
优选的,在上述除膜装置中,所述压紧组件包括与所述滚刷体形状适配的压紧块和与所述压紧块连接的伸缩缸,所述伸缩缸的伸缩方向与所述衬底的侧边垂直;
或者,
所述压紧组件包括与所述滚刷体形状适配的压紧块、与所述压紧块转动连接的丝杠和与所述丝杠螺纹配合的安装座,所述丝杠的轴线与所述衬底的侧边垂直。
优选的,在上述除膜装置中,所述滚刷体上设置有连接轴,所述连接轴与所述驱动件连接。
优选的,在上述除膜装置中,所述驱动件为电机。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造