[实用新型]一种电子烟供液装置

权利要求书

1.一种电子烟供液装置，其特征在于，包括：压电基底(1)、覆盖在压电基底(1)上的绝缘膜(2)、第一叉指换能器(31)和第二叉指换能器(32)、储液室(4)、流道(5)和出液口(7)；

所述储液室(4)上设置进液口(6)，所述流道(5)一端与所述储液室(4)连通且密封，另一端为出液口(7)；

所述第一叉指换能器(31)和第二叉指换能器(32)贴合设置在压电基底(1)表面且在压电基底(1)和绝缘膜(2)之间；所述储液室(4)、流道(5)和出液口(7)设置在所述绝缘膜(2)外上面的；

所述第一叉指换能器(31)位于储液室(4)和流道(5)反方向外侧且与储液室(4)不接触，所述第二叉指换能器(32)位于储液室(4)与出液口(7)之间的流道(5)下方。

2.根据权利要求1所述电子烟供液装置，其特征在于，所述第一叉指换能器(31)、储液室(4)、第二叉指换能器(32)、流道(5)和出液口(7)在同一直线上。

3.根据权利要求1所述电子烟供液装置，其特征在于，所述绝缘膜(2)的厚度为200nm-400nm；所述流道(5)的宽度为所述第一叉指换能器(31)和第二叉指换能器(32)声表面波波长的5-11倍，深度为声表面波波长的2-5倍；所述出液口(7)的宽度为1mm-10mm，高度为0.1mm-1.0mm。

4.根据权利要求1所述电子烟供液装置，其特征在于，所述第一叉指换能器(31)和第二叉指换能器(32)所使用的输入信号为同一频率，且其频率范围为100MHz-400MHz。

5.根据权利要求1-4任一所述电子烟供液装置，其特征在于，所述第一叉指换能器(31)和第二叉指换能器(32)为两层金属薄膜溅镀而成的栅极电极，第一层金属薄膜的材料为钛或铬，厚度为30nm-100nm，第二层金属薄膜的材料为铝或金，厚度为100nm-300nm。

6.根据权利要求1所述电子烟供液装置，其特征在于，所述压电基底(1)为石英、镀有氧化锌薄膜的硅片、压电陶瓷、铌酸锂或钽酸锂中的一种或几种，其厚度为0.3mm-1.5mm，温度系数为-100×10^-7/℃～-30×10^-6/℃，机电耦合系数为3.5％-8.5％，声表面波在压电基底(1)上的传播速度为3950m/s-4005m/s。

7.根据权利要求1或2所述电子烟供液装置，其特征在于，所述储液室(4) 和流道的材料为聚二甲基硅氧烷。

8.根据权利要求1所述电子烟供液装置，其特征在于，还包括：射频信号发生装置(8)，其为射频电源，其频率范围为100MHz-200MHz，功率范围为0.1W-1.5W。

9.根据权利要求1所述电子烟供液装置，其特征在于，还包括：设置于所述压电基底(1)外侧的两组馈电端口(9)，其用于连接射频信号发生装置(8)，其中一组馈电端口(9)通过导线(10)与第一叉指换能器(31)相连，另一组馈电端口(9)通过导线(10)与第二叉指换能器(32)相连。