[实用新型]一种吸嘴结构及芯片检测设备

说明书

本实用新型公开了一种吸嘴结构及包括吸嘴结构的芯片检测设备，属于芯片检测技术领域。该吸嘴结构，包括：固定部，内部中空且内侧设置有环形的气流通道，所述气流通道与外部真空装置连通；旋转轴，内部中空且可转动地设置于所述固定部内部，所述旋转轴的侧壁沿环向开设有若干通气孔，所述旋转轴的内部通过所述通气孔与所述气流通道连通；及吸嘴，一端伸入所述固定部内部与所述旋转轴连接以跟随所述旋转轴同步转动，另一端悬置于所述固定部外部以吸附工件，所述吸嘴的内部的吸附气道通过所述旋转轴的内部与所述通气孔连通。其能够实现360°任意位置的旋转调节，避免出现线路缠绕等问题，且结构紧凑，体积小。

技术领域

本实用新型涉及芯片检测技术领域，尤其涉及一种吸嘴结构及芯片检测设备。

背景技术

在芯片快制造完成时，需要通过芯片检测设备对芯片进行电特性检测。在检测前，一般需要通过上料机构将芯片输送至上料位置，再通过检测设备的吸嘴将芯片从上料位置移动至检测位置，在检测后，再通过吸嘴从检测位置拾取芯片并移动至下料工位。在实际应用中，芯片在不同位置转换时，难免出现错位或者放置方向不满足使用需求的情况，这就需要吸嘴在放置芯片时对其进行调整。

目前芯片的搬运大多采用真空吸附的方式，吸嘴通过管路连接至真空发生装置，在进行芯片放置方向调整时，吸嘴整体需要进行转动调节，在小角度调节时传统吸嘴的形式能够满足使用要求，但在进行大角度调节甚至整周 360度调节时，容易出现管路缠绕于吸嘴上的问题，且若转动机构故障，吸嘴多圈转动势必会导致管路连接脱落或断开，安全性及可靠性低。

因此，鉴于以上问题，有必要提出一种新型的吸嘴结构，便于实现吸嘴的任意角度转动，避免对其他结构部件造成影响及损坏，实现安全、可靠检测的目的。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种吸嘴结构及芯片检测设备，能够实现 360°任意位置的旋转调节，避免出现线路缠绕等问题，结构简单。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种吸嘴结构，包括：

固定部，内部中空且内侧设置有环形的气流通道，所述气流通道与外部真空装置连通；

旋转轴，内部中空且可转动地设置于所述固定部内部，所述旋转轴的侧壁沿环向开设有若干通气孔，所述旋转轴的内部通过所述通气孔与所述气流通道连通；及

吸嘴，一端伸入所述固定部内部与所述旋转轴连接以跟随所述旋转轴同步转动，另一端悬置于所述固定部外部以吸附工件，所述吸嘴的内部的吸附气道通过所述旋转轴的内部与所述通气孔连通。

其中，所述吸嘴能够相对于所述旋转轴沿轴向运动，在所述吸嘴沿轴向运动时，所述通气孔至少部分不被所述吸嘴遮挡，以保持与所述吸嘴的吸附气道连通。

其中，所述旋转轴的侧部沿所述吸嘴的轴向开设有限位槽；

该吸嘴结构还包括限位销，所述限位销连接于所述吸嘴，并沿轴向滑动设置于所述限位槽中。

其中，所述限位槽为相对设置的两个，所述限位销横穿所述吸嘴后滑动设置于所述限位槽中。

其中，所述吸嘴与所述旋转轴之间设置有弹性件，所述弹性件的两端分别与所述旋转轴和所述吸嘴固定或相抵，所述吸嘴受外力沿竖向相对所述旋转轴向上移动时，所述弹性件受压收缩，外力消失时，所述吸嘴在所述弹性件的回复力下复位。

其中，所述气流通道为成型于所述固定部内侧壁上的环形槽，所述通气孔的高度不小于所述环形槽的宽度。

其中，所述固定部包括套设于所述旋转轴的套筒及固定于所述套筒端部的端盖，所述气流通道设置于所述套筒的内侧，所述旋转轴与所述吸嘴连接的端部穿过所述套筒并抵压于所述端盖。