[实用新型]一种温度自调节正电阻温度系数电阻平板加热器

说明书

本实用新型公开了一种温度自调节正电阻温度系数电阻平板加热器，包括加热薄膜和加热平板，所述加热薄膜为阵列在一起的若干正电阻温度系数材料制成的单元加热薄膜构成，所述加热薄膜通过磁控溅射方式粘合在加热平板上，所述加热薄膜设置在加热平板上的方式为单元加热薄膜先通过导线根据平板的大小均匀串联成若干行加热薄膜，串联在一起的每行加热薄膜之间再通过并联方式连接设置在加热板两端的电极上，在加热薄膜电路上的两电极间设置用于加载恒定电压的电源。通过本实用新型制备出的加热器可实现自动调节温度，加热均匀。

技术领域

本实用新型涉及一种平板加热器，具体涉及一种温度自调节正电阻温度系数电阻平板加热器。

背景技术

现有平板加热器的加热方式为在平板底部布置加热电阻丝，在通入加热电阻丝上加载电流，从而产生焦耳热，使平板温度上升到所需温度。由于平板下电阻丝分布不均匀以及平板与空气热交换的差异，平板上的温度不能达到较高的均匀性。

实用新型内容

本发明针对上述问题，提供一种温度自调节正电阻温度系数电阻平板加热器，通过使用正电阻温度系数材料制成的加热薄膜，提高加热器的温度均匀性。

为实现上述目的，本发明采用以下技术方案。

一种温度自调节正电阻温度系数电阻平板加热器，其特征在于，包括加热薄膜和加热平板，所述加热薄膜为阵列在一起的若干正电阻温度系数材料制成的单元加热薄膜构成，所述加热薄膜通过磁控溅射方式粘合在加热平板上，所述加热薄膜设置在加热平板上的方式为单元加热薄膜先通过导线根据平板的大小均匀串联成若干行加热薄膜，串联在一起的每行加热薄膜之间再通过并联方式连接设置在加热板两端的电极，在加热薄膜电路上的两电极间设置用于加载恒定电压的电源。

进一步地，所述加热薄膜为铂金属薄膜。

进一步地，加热薄膜的外形为迂回结构。

其工作方法是加热器加热时，加热薄膜电阻将产生焦耳热使平板升温，当平板上温度不均匀时，由于加热薄膜为正电阻温度系数材料，温度较高的区域薄膜电阻增加，而电压恒定，其加热功率减小，从而使该温度偏高区域的温度下降，实现自调节；同理，当某区域温度偏低时，加热薄膜电阻值减小，加热功率增大，从而使温度偏低的区域温度上升，最终使平板上的温度均匀性提高。所述加热器采用MEMS工艺进行制备。

本实用新型的有益效果：通过本实用新型制备出的加热器可实现自动调节温度，加热均匀。

附图说明

图1是本实用新型的温度自调节正电阻温度系数电阻平板加热器结构示意图；

图2是本实用新型的温度自调节正电阻温度系数电阻平板加热器电流输入示意图；

图3是本实用新型的温度自调节正电阻温度系数电阻平板加热器的MEMS制备工艺。

图中：1. 导线，2. 加热平板，3、单元加热薄膜，4、电极，5、恒定电压电源;

加热平板、加热薄膜、光刻胶。

具体实施方式

以下结合附图和实施例对本发明作进一步说明。参见图1、2，一种温度自调节正电阻温度系数电阻平板加热器，包括加热薄膜和加热平板2，所述加热薄膜为阵列在一起的若干正电阻温度系数材料制成的单元加热薄膜3构成，所述加热薄膜通过磁控溅射方式粘合在加热平板上，所述加热薄膜设置在加热平板上的方式为单元加热薄膜3先通过导线1根据平板的大小均匀串联成若干行加热薄膜，串联在一起的每行加热薄膜之间再通过并联方式连接设置在加热板两端的电极4上，在加热薄膜电路上的两电极4间设置用于加载恒定电压的电源5。