[实用新型]一种一炉多用的硅芯铸锭炉

说明书

本实用新型公开了一种一炉多用的硅芯铸锭炉，包括支架，支架上固定安装有炉体，炉体内由炉体内壁向内依次设置有保温板层、加热层、石墨护板或石墨坩埚、石英坩埚；炉体包括上炉体、下炉体，上炉体和下炉体为分体式结构；支架至少有一个侧壁为开口结构侧；横向导向机构，纵向导向机构，下炉体固定在纵向导向机构上。在硅芯铸锭过程中，通过升降移动装置的纵向导向机构将下炉体与上炉体分离，利用横向导向机构将下炉体由支架内经开口结构运至支架外，从而对下炉体内的石英坩埚进行更换，以达到铸锭不同规格的硅芯，同时还可以铸锭4根尺寸一致的多晶硅锭，实现一炉多用。

技术领域

本实用新型涉及硅芯铸锭炉，具体涉及一种带有自动升降机构的铸锭炉。

背景技术

硅芯铸锭炉是多晶硅转化为多晶硅芯工艺过程中的必备设备，而多晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。多晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的多晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。

目前的硅芯铸锭炉在生产时，只能铸锭一个硅芯，容易造成硅芯铸锭炉利用率低，影响铸锭成本等现象。

实用新型内容

针对上述技术问题，本实用新型提供了一种一炉多用的硅芯铸锭炉，在硅芯铸锭过程中，通过升降移动装置的纵向导向机构将下炉体与上炉体分离，利用横向导向机构将下炉体由支架内经开口结构运至支架外，从而对下炉体内的石英坩埚进行更换，以达到铸锭不同规格的硅芯，同时还可以铸锭4根尺寸一致的多晶硅锭，实现一炉多用。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：一种一炉多用的硅芯铸锭炉，包括

支架，支架上固定安装有炉体，炉体内由炉体内壁向内依次设置有保温板层、加热层、石墨护板或石墨坩埚、石英坩埚；炉体包括上炉体、下炉体，上炉体和下炉体为分体式结构；支架至少有一个侧壁为开口结构侧；

横向导向机构，所述横向导向机构一端位于开口结构侧外侧，另一端向所述开口结构侧处延伸并穿过开口结构且至少延伸至下炉体下方，

纵向导向机构，所述纵向导向机构安装在横向导向机构上并由驱动机构驱动其在横向导向机构由支架外向支架内或由支架内向支架外运动，下炉体固定在纵向导向机构上。

在上述方案中，横向导向机构、纵向导向机构构成升降移动装置，硅芯铸锭炉体升降移动装置的作用如下：在硅芯铸锭炉作业过程中，通过将硅芯铸锭炉下炉体升降和移动，方便取出铸锭好的硅芯和向石英坩埚内投料，为作业提供了简单快捷的操作方法，同时提高了作业的时效性。

硅芯铸锭炉一炉多用技术如下：在硅芯铸锭过程中，通过升降移动装置的纵向导向机构将下炉体与上炉体分离，利用横向导向机构将下炉体由支架内经开口结构运至支架外，从而对下炉体内的石英坩埚进行更换，以达到铸锭不同规格的硅芯，同时还可以铸锭4根尺寸一致的多晶硅锭，实现一炉多用。

在上述方案的基础上，作为优选，横向驱动机构包括由支架开口结构侧外侧延伸至支架另一侧的直线导轨，直线导轨上安装与该直线导轨滑动配合的升降底座，

升降底座上安装纵向导向机构，纵向导向机构包括升降机构，升降机构包括丝杆、丝杆滑块，丝杆滑块固定连接下炉体。

在上述方案的基础上，作为优选，直线导轨包括导轨座，导轨座上端面并行设置设有导轨、齿条，直线导轨有两条，且并行设置，齿条设置在两条导轨的相对侧，升降底座上固定有驱动机构，驱动机构为电机，电机的输出轴连接T型换向器，T型换向器具有输入轴、同步转动且同轴的两个输出轴，两个输出轴位于换向器的相对两侧，两个输出轴均通过联轴器连接传动连接轴，传动连接轴连接传动轴，传动轴上安装与齿条配合的齿轮。

在上述方案的基础上，作为优选，任一条传动连接轴上至少安装一个轴承座，轴承座内设置轴承，传动连接轴穿过轴承且与轴承内圈固定连接。