[实用新型]基于石墨板的测温系统

说明书

本实用新型涉及一种基于石墨板的测温系统；包括石墨板本体、紧固件和测温探头；所述石墨板本体上开设有固定孔，所述紧固件部分伸入所述固定孔内将所述测温探头夹持在所述石墨板本体和所述紧固件之间，所述测温探头与所述石墨板本体的表面贴合，和/或所述测温探头与所述石墨板本体的内部贴合；本实用新型系统通过在石墨板多个测温点开设固定孔，实现了石墨板内部或表面的多个位置的温度测量；紧固件采用机械结构固定牢固，不会因测温点温度过高而脱落；本系统结构简单，能够多次使用从而减少了标准件的消耗节省了成本，应用方便。

技术领域

本实用新型涉及测温元件的固定，具体涉及一种基于石墨板的测温系统。

背景技术

在MOCVD设备的运行过程中，需要用到石墨板来承载晶片，并在加热真空腔室内进行气相外延生长，石墨板在高温密闭真空腔室内进行工作，通常密闭腔室内的温度可达到700℃以上，目前已有的测温方法是在石墨板表面粘贴或焊接的方式固定测温元件；首先，在腔室高温的情况下测温度元件由于受温度的影响容易脱落；其次，目前已有的测量方法只能测量石墨板表面的温度，因而无法准确全面的获得石墨板的温度信息。

为了准确测量反应温度需要精确地检测出石墨板的温度，以保证高温真空腔室内石墨板上的晶体在特定的温度中生长，提供稳定的MOCVD设备制造设备，因此亟需一种精确检测石墨板温度的装置。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

为了解决高温密闭腔室内石墨板温度测量时测温点单一，测温元件易脱落，且仅能测量石墨板表面温度的问题，本实用新型提供一种基于石墨板的测温系统。

(二)技术方案

为了达到上述目的，本实用新型采用的主要技术方案包括：

石墨板本体、紧固件和测温探头；

所述石墨板本体上开设有固定孔，所述紧固件部分伸入所述固定孔内将所述测温探头夹持在所述石墨板本体和所述紧固件之间，所述测温探头与所述石墨板本体的表面贴合，和/或所述测温探头与所述石墨板本体的内部贴合。

可选地，所述固定孔设置有至少两个，各所述固定孔内壁均设置有螺纹，相应的所述紧固件和所述测量探头的数量均与所述固定孔的数量相同；

其中，至少一个所述固定孔为盲孔，用于测量所述石墨板本体的内部温度，至少一个所述固定孔为通孔，用于测量所述石墨板本体的表面温度。

可选地，所述测温探头为热电偶接头。

可选地，每一所述紧固件均包括石墨螺柱和石墨螺母；

测量内部温度的所述热电偶接头放置在所述盲孔底部，所述石墨螺柱与盲孔的螺纹连接将测量内部温度的所述热电偶接头压紧在所述石墨螺柱与盲孔之间，石墨螺母与石墨螺柱延伸出盲孔外的部位螺纹连接；

与所述通孔配合的所述石墨螺柱与所述通孔螺纹连接，所述石墨螺母与所述石墨螺柱延伸出通孔外的部位螺纹连接，测量表面温度的所述热电偶接头放置在所述石墨螺母与所述石墨板本体之间。

可选地，所述石墨板本体表面设置有与所述盲孔连通的边槽，用于将所述热电偶接头连接的导线从所述盲孔引出。

可选地，与所述通孔配合的紧固件还包括设置在所述石墨螺母与所述热电偶接头之间的石墨垫片，测量表面温度的所述热电偶接头放置在所述石墨垫片与所述石墨板本体之间。

可选地，还包括测温仪，所述测温仪放置在高温密闭腔室外，各所述测温探头分别通过导线与所述测温仪连接。

可选地，与所述石墨板本体的表面贴合的测温探头及与所述石墨板本体的内部贴合的测温探头均设置多个。

(三)有益效果

本实用新型的有益效果是：