[实用新型]角阀

说明书

本实用新型提供一种角阀，角阀包括：角阀腔室，角阀腔室设有角阀管口；角阀清洁腔，角阀清洁腔与角阀腔室相连，并与角阀管口相对设置；角阀清洁腔包括收纳空间及清洁腔阀门，收纳空间内设有角阀清洁装置，角阀清洁装置包括驱动部件及清洁部件，清洁部件通过驱动部件伸入角阀管口内，以清洁角阀管口的内壁。本实用新型实现对角阀管口的内壁的自清洁，有效去除位于角阀管口的内壁上的污染物，缩短角阀的维修保养周期，可提高产品质量，节约资源及提高生产效率。

技术领域

本实用新型属于半导体加工设备领域，涉及一种角阀。

背景技术

在半导体制程工艺中，反应腔通常需要与抽气部件相连接，用以移除反应腔中的污染物。而角阀由于具有流路简单，死区及涡流区较小，流阻小，流量系数大的特点被广泛应用于工业生产设备中。

在半导体制程工艺中，通常将角阀进口与反应腔相连接，角阀出口与抽气部件相连接，通过角阀移除反应腔中的污染物，并控制反应腔的压力。然而，在角阀进行工作的过程中，部分污染物依然会沉积在角阀中，尤其附着于角阀进口的内壁上，随着污染物的堆积，该部分污染物会导致角阀控压异常，在工艺参数设定的范围内，无法对设定的压力进行控制，且沉积的污染物还会影响抽气部件对反应腔的抽气效果，以至于影响产品质量。因此，为确保正常生产及产品质量，需消耗较多的时间对角阀进行人工维修保养，从而造成资源的浪费及生产效率的降低。

基于以上所述，提供一种新型的角阀，以有效去除角阀中堆积的污染物，实属必要。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种角阀，用于解决现有技术中在角阀中尤其是堆积在角阀管口的内壁上的污染物的清洁问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种角阀，所述角阀包括：

角阀腔室，所述角阀腔室设有角阀管口；

角阀清洁腔，所述角阀清洁腔与所述角阀腔室相连，并与所述角阀管口相对设置；所述角阀清洁腔包括收纳空间及清洁腔阀门，所述收纳空间内设有角阀清洁装置，所述角阀清洁装置包括驱动部件及清洁部件，所述清洁部件通过所述驱动部件伸入所述角阀管口内，以清洁所述角阀管口的内壁。

可选的，所述驱动部件包括伸缩单元。

可选的，所述驱动部件还包括旋转单元。

可选的，所述清洁部件包括刮刷及研磨块中的一种或组合。

可选的，所述清洁部件包括陶瓷部件、氟胶部件及氧化铝部件中的一种或组合。

可选的，所述清洁部件的移动方式包括平移式或由平移式与旋转式形成的组合中的一种。

可选的，所述清洁部件与所述角阀管口具有相同的水平截面形貌。

可选的，所述清洁腔阀门还连接有清洁腔阀门伸缩单元。

可选的，所述清洁腔阀门与所述角阀腔室的内壁具有同一水平面。

可选的，上述角阀包括应用于半导体设备中的角阀。

如上所述，本实用新型中的角阀，增加了包括收纳空间及清洁腔阀门，并与角阀腔室相连，且与角阀管口相对设置的角阀清洁腔；通过收纳空间内设置的包括驱动部件及清洁部件的角阀清洁装置，实现对角阀管口的内壁的自清洁，有效去除位于角阀管口的内壁上的污染物，缩短角阀的维修保养周期，可提高产品质量，节约资源及提高生产效率。

附图说明

图1显示为本实用新型中的角阀在应用于半导体设备中的结构示意图。

图2显示为图1中的角阀的一种工作状态结构示意图。

元件标号说明