[实用新型]一种切割液过滤系统压紧装置

说明书

本实用新型涉及一种切割液过滤系统压紧装置，其包括圆环形的固定盘、设置在所述固定盘下部的U形支架及设置在所述固定盘上部的压紧组件；所述压紧组件包括压柄、导向件及压紧弹簧；所述导向件包括固定在所述固定盘上的导向套及与所述导向套相适配的导向杆，所述导向套设置在所述固定盘的圆心处，所述导向杆设置在所述压柄上；所述导向杆上套设有所述压紧弹簧。

技术领域

本实用新型涉及硅片生产技术领域，尤其涉及到硅片生产过程中切割液过滤系统压紧装置。

背景技术

在硅片生产过程中，切割液是参与切割的主要媒介，不仅起到降温的作用，还可以带走因切割产生的大量硅粉、硅粒等杂质，经过过滤系统后，又重新参与切割过程，使切割液可以正常循环使用。如因过滤不充分，使大粒硅杂质或耗材等产生的其它杂质重新参与切割，会给硅片的生产带来极大威胁，造成线网跳线、压线、断线，造成报废和导线轮损坏，增加生产成本。

现有技术中，在切割液的过滤系统中，滤网卡设在过滤桶内壁的台阶上，在过滤时，滤网与过滤桶内壁容易发生位移，产生缝隙，使未过滤的切割液从出液口直接输出，达不到充分过滤的效果。因此设计一种可以充分、并牢固过滤切割液的装置显的尤为迫切。本实用新型设计了一种切割液过滤系统压紧装置，可以解决上述问题，在过滤过程中能压紧滤网，使切割液充分过滤，减少硅片切割过程中跳线、断线、安全生产事故的发生，提高工作效率。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种过滤压紧效果好、过滤过程中防止滤网跑偏的切割液过滤系统压紧装置。

为解决上述问题，本实用新型所采取的技术方案是：

一种切割液过滤系统压紧装置，其关键技术在于：其包括圆环形的固定盘、设置在所述固定盘下部的U形支架及设置在所述固定盘上部的压紧组件；

所述压紧组件包括压柄、导向件及压紧弹簧；所述导向件包括固定在所述固定盘上的导向套及与所述导向套相适配的导向杆，所述导向套设置在所述固定盘的圆心处，所述导向杆设置在所述压柄上；所述导向杆上套设有所述压紧弹簧。

作为本实用新型的进一步改进，所述压柄包括水平压杆和垂直压杆，所述导向杆设置在所述水平压杆和垂直压杆的交叉处。

作为本实用新型的进一步改进，所述水平压杆和/或垂直压杆两端分别设置有压紧弹簧。

作为本实用新型的进一步改进，所述固定盘上设置有支撑部，所述支撑部与所述固定盘的直径相重合，所述导向套设置在所述支撑部的中部；所述支撑部上设置有能使所述导向杆通过的通孔。

作为本实用新型的进一步改进，设置有两个U形支架，两个所述U形支架垂直设置。

采用上述技术方案所产生的有益效果在于：

本实用新型所述的切割液过滤系统压紧装置，设置有U形支架，能有效撑开滤网，并压紧滤网，使之不易在切割液循环冲击力的作用下发生褶皱、变形，保持最大过滤表面积，使切割液得到充分过滤。并能通过固定盘压紧滤网上部开口处的硬环，防止滤网在过滤过程中发生位移，避免产生缝隙，造成过滤不充分的现象。并且本实用新型利用导向杆和导向套实现压柄下压时对固定盘的导向作用，使固定盘能顺利并保持垂直下压，下压后对滤网边缘的硬环压紧效果更好。

本实用新型设计科学巧妙，具有简单、实用、易拆御的特点，可以使过滤效果更好，避免未过滤的切割液输出，能充分过滤掉切割液中的硅杂质和耗材产生的其它杂质，减少跳线、断线、压线和安全生产事故的发生，提高工作效率，降低生产成本。

附图说明