[实用新型]电池片槽式制绒设备有效
申请号: | 201821935355.X | 申请日: | 2018-11-22 |
公开(公告)号: | CN208923047U | 公开(公告)日: | 2019-05-31 |
发明(设计)人: | 曹芳 | 申请(专利权)人: | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人: | 杨林洁 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 输送路径 输送装置 循环泵 槽式制绒设备 本实用新型 槽本体 电池片 内槽体 外槽体 循环输送路径 延长使用寿命 控制阀控制 药液输送 控制阀 内循环 紧凑 | ||
本实用新型提供一种电池片槽式制绒设备,包括槽本体、循环泵以及连接在所述槽本体和循环泵之间的输送装置,输送装置连接在外槽体和内槽体之间并形成两个输送路径;第一输送路径,药液从外槽体到内槽体输送;第二输送路径,药液在输送装置内循环;循环泵为药液输送和循环提供动力;输送装置包括控制阀,控制阀控制第一输送路径和所述第二输送路径择一连通。本实用新型通过设置两个循环输送路径,避免了循环泵频繁的启动和关闭,延长使用寿命,同时具有结构简单紧凑,成本低廉的优点。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域,尤其是电池片槽式制绒设备。
背景技术
在现有的可持续能源中,太阳能是一种最清洁、最普遍和最具潜力的替代能源。而太阳能电池发电,可以将太阳能直接转换成电能,其发电原理是基于半导体PN结的光生伏特效应。其中,晶体硅太阳能电池由于丰富的硅储量得到了广泛应用。
现有的晶体硅太阳能电池的制备工艺如下:清洗制绒→扩散→刻蚀/去PSG→PECVD→丝网印刷→烧结→测试分档→分选→包装。其中,制绒是为了在硅片表面形成绒面,以提高硅片的陷光作用。现有技术中,制绒一般在制绒槽中进行,制绒槽一般包括槽体、药液循环系统以及废气抽吸系统,槽体上端口敞开以便于取放盛放硅片的花篮,药液循环系统用于循环药液,以使药液保持均匀的浓度,废气抽吸系统用于抽吸聚集在药液液面上方的废气,用于保证工作环境的安全。
现有的制绒方法主要以湿法制绒应用最为广泛。湿法制绒设备主要是槽式制绒设备,主要包括内槽和外槽,外槽一般环设于内槽的外围,内槽的底部设有内槽进液口,外槽上设有外槽排液口,该外槽排液口通过循环管路与内槽进液口连通,从而实现药液在内外槽之间的循环流动,即外槽的药液通过循环管路进入内槽,以达到内外槽药液均匀。
硅片制绒在湿法槽式中反应存在这样一个现象:当药液槽不循环时,硅片在药液槽中反应均匀,当药液循环时,硅片在药液槽中反应不均匀;在湿法槽式机量产过程中,每过一篮或几篮硅片,会往药液槽中增加药液,为了保证药液的时效性及均匀性,就要保证药液能够经常循环;这样就有了无篮循环:药液槽体内有硅片时,药液不循环;药液槽体无硅片时,药液循环。
目前主要通过软件来控制循环泵的开关来实现有蓝或无篮循环,但是经常开关循环泵会缩短其使用寿命,也会造成循环泵卡死,造成宕机。
因此,亟待开发一种太阳能电池片槽式制绒设备,以更好地实现内外槽药液循环而不致影响循环泵的寿命。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种电池片槽式制绒设备。
为实现上述目的,本实用新型实施例公开了一种电池片槽式制绒设备,包括槽本体、循环泵以及连接在所述槽本体和所述循环泵之间的输送装置,所述循环泵设置于所述槽本体的外部,所述槽本体包括外槽体以及设置于所述外槽体内部的内槽体,所述输送装置连接在所述外槽体和所述内槽体之间并形成两个输送路径;
第一输送路径,药液从所述外槽体到所述内槽体输送;
第二输送路径,药液在所述输送装置内循环;
所述循环泵为药液输送和循环提供动力;
所述输送装置包括控制阀,所述控制阀控制所述第一输送路径和所述第二输送路径择一连通。
作为本实用新型实施方式的进一步改进,所述输送装置包括设置于所述槽本体外部的缓存槽,所述缓存槽与所述外槽体流体连通;
所述第一输送路径,药液经过所述缓存槽向所述内槽体输送;
所述第二输送路径,药液经过所述缓存槽进行内循环。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司,未经苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821935355.X/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:烘干槽及湿法刻蚀机
- 下一篇:一种二极管框架上胶模具
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造